[发明专利]固体摄像元件

说明书

本申请基于2010年7月2日提出的日本特愿2010-152510，并主张此优先权，上述申请的内容被援引到本申请中。

技术领域

本发明涉及一种固体摄像元件。

背景技术

日本特表2008-546313号公报公开了具有以下部件的固体摄像元件：多个像素，至少两个像素分别包括：(a)光敏器、(b)形成浮地电容部的电荷电压变换区域及(c)对放大器的输入部；连接晶体管，其形成选择性连接上述电荷电压变换区域之间的开关。

根据该现有的固体摄像元件，通过接通上述连接晶体管，可进行混合上述至少两个像素的光敏器的电荷并读出的像素混合(电荷畴像素合并)。并且，通过断开上述连接晶体管，和不具有上述连接晶体管的普通的固体摄像元件一样，可不混合上述至少两个像素的光敏器的电荷而读出。

本发明人的研究结果表明，在上述现有的固体摄像元件中，因经由断开的上述连接晶体管的泄漏电流的产生，所拍摄的图像的画质下降。即，表明：在上述现有的固体摄像元件中，当断开上述连接晶体管时，应被上述连接晶体管屏蔽的邻接像素的电荷—电压变换区域的电荷，经由上述连接晶体管作为泄漏电流流入到要读出信号的像素的电荷—电压变换区域，结果因该泄漏电流产生图像的过白、噪声，画质下降。

发明内容

本发明的目的在于，在具有对浮地电容部之间进行接通、断开的连接晶体管的固体摄像元件中，提高画质。

本发明涉及的一个方式中的固体摄像元件具有：多个像素，其具有生成并存储与入射光对应的电荷的光电变换部、接收上述电荷并将上述电荷变换为电压的电荷电压变换部、输出与上述电荷电压变换部的电压对应的信号的输出部、从上述光电变换部向上述电荷电压变换部传送电荷的传送部及重置上述电荷电压变换部的电位的重置晶体管；连接晶体管，对上述多个像素中的至少一个像素的上述电荷电压变换部及上述多个像素中的其他至少一个像素的上述电荷电压变换部之间进行接通、断开；上述连接晶体管的阈值电压比上述重置晶体管的阈值电压高。

在上述方式中，上述连接晶体管的杂质浓度比上述重置晶体管的杂质浓度高。

在上述方式中，上述连接晶体管的沟道宽度比上述重置晶体管的沟道宽度窄。

在上述方式中，上述连接晶体管的沟道长度比上述重置晶体管的沟道长度长。

在上述方式中，上述连接晶体管的栅极氧化膜比上述重置晶体管的栅极氧化膜厚。

在上述方式中，具有控制部，向上述连接晶体管的栅极施加接通电压及断开电压，并且向上述重置晶体管的栅极施加接通电压及断开电压；施加到上述连接晶体管的栅极的上述接通电压与上述断开电压之间的电位差绝对值不同于施加到上述重置晶体管的栅极的上述接通电压与上述断开电压之间的电位差绝对值。

本发明涉及的其他方式的固体摄像元件具有：多个像素，其分别具有生成并存储与入射光对应的电荷的光电变换部、接收上述电荷并将上述电荷变换为电压的电荷电压变换部、输出与上述电荷电压变换部的电位对应的信号的输出部、从上述光电变换部向上述电荷电压变换部传送电荷的传送部及重置上述电荷电压变换部的电位的重置晶体管；连接晶体管，对上述多个像素中的至少一个像素的上述电荷电压变换部及上述多个像素中的其他至少一个像素的上述电荷电压变换部之间进行接通、断开；控制部，向上述连接晶体管的栅极施加接通电压及断开电压，并且向上述重置晶体管的栅极施加接通电压及断开电压；施加到上述连接晶体管的栅极的上述接通电压与上述断开电压之间的电位差绝对值不同于施加到上述重置晶体管的栅极的上述接通电压与上述断开电压之间的电位差绝对值。

在上述方式中，上述电荷电压变换部、上述输出部及上述重置晶体管按上述多个像素中的2个以上的规定个数的像素共有，上述至少一个像素和上述其他至少一个像素不共有上述电荷电压变换部、上述输出部及上述重置晶体管。

根据本发明的方式，在具有对浮地电容部之间进行接通、断开的连接晶体管的固体摄像元件中，可提高画质。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的固体摄像元件的概要构成的电路图。

图2是表示图1所示的固体摄像元件的一部分的概要示意平面图。

图3是沿着图2的A-A’线的概要截面图。

图4是表示本发明的第2实施方式的固体摄像元件的一部分的概要示意平面图。

图5是表示本发明的第3实施方式的固体摄像元件的一部分的概要示意平面图。

图6是表示本发明的第4实施方式的固体摄像元件的一部分的概要示意平面图。

具体实施方式