[发明专利]一种多维位移加速度传感器

权利要求书

1.一种多维位移加速度传感器，其特征在于，磁体(3)的一侧固定有测量元件组，测量元件组处于磁体(3)的磁场中，磁体(3)可以在其所处的平面上移动，在磁体(3)移动过程中，所述测量元件组通过测量所述磁体(3)所在位置的磁场强度和磁场方向获得所述磁体(3)相对所述测量元件组的位置和转角。

2.根据权利要求1所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述测量元件组包括磁敏元件(1)和距离测量元件(2)。

3.根据权利要求2所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述磁敏元件(1)为至少三个，平均分布在测量元件组上。

4.根据权利要求2所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述距离测量元件(2)为至少一个。

5.根据权利要求2或4任1项所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述距离测量元件(2)可以为触点开关元件、电容传感器、电感传感器、压电传感器或应变传感器。

6.根据权利要求1所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述磁体(3)为永磁铁。

7.根据权利要求1所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述磁铁(3)为一侧包含至少4个磁极的永磁铁。

8.根据权利要求7所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述磁极的S极和N极交替排列。

9.根据权利要求1所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，所述磁敏元件(1)作为水平位移测量和旋转角度的测量，所述距离测量元件(2)作为垂直方向上的位移和倾角测量，通过检测单位时间内所述磁体(3)不同方向移动的距离来实现多维加速度测量。

10.根据权利要求1所述的一种多维位移加速度传感器，其特征在于，利用电感传感器的电磁效应或压电传感器的逆压电效应，通过为距离测量元件(2)施加电流使其控制磁体(3)产生位移，实现力反馈。