[发明专利]薄膜探针测试装置

权利要求书

1.一种薄膜探针测试装置，包含一薄膜探针卡，该薄膜探针卡包含一可挠性基材，其具有第一表面与第二表面，该第一表面上设置有多个导电条，该导电条上设置有一探针单元，其特征在于：

该探针单元包含多个探针凸块，每一导电条上的探针凸块等间距排列，该可挠性基材上具有一预定裁切线，从每一导电条的该相邻的两探针凸块之间穿过。

2.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该导电条上的该探针凸块平行排列。

3.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该导电条上的该探针凸块交错排列。

4.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该薄膜探针测试装置更包含一测试基台，该测试基台包含一基台本体与设置于该基台本体上的一弹性凸条。

5.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该可挠性基材具有两圆孔，该测试基台具有多个螺丝孔，所述螺丝孔之间的间距与该探针凸块之间的间距相同，该两圆孔选择性地锁合于所述螺丝孔之其中二者。

6.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该可挠性基材具有多个长圆孔，该测试基台上具有多个螺丝孔与多个定位柱，对应于该长圆孔配置。

7.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该基台本体上具有一凹陷部。

8.一种薄膜探针测试装置的使用方法，其特征在于，该方法包括：

固定一薄膜探针卡于一测试基台上，该薄膜探针卡具有多排探针凸块，其中一排的该探针凸块对齐该测试基台上的一弹性凸条。

9.如权利要求8所述的薄膜探针测试装置的使用方法，其特征在于，该方法还包括：

沿一预定裁切线裁切该薄膜探针卡，以切除其中一排的该探针凸块。