[发明专利]制造压电促动器的方法和制造液体输送装置的方法

权利要求书

1.一种制造压电促动器的方法，包括：

提供基部构件和振动板，该基部构件包括不干涉部分，该振动板接合到基部构件的一个表面以覆盖不干涉部分，振动板具有接合表面，基部构件接合在该接合表面上，并且振动板具有堆叠表面，该堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上；

在振动板的堆叠表面中在与不干涉部分对应的位置处形成凹进部分；

在振动板的凹进中填充在第一温度下热分解的填充剂；

通过在振动板的堆叠表面上形成压电层来形成包括振动板、压电层和填充剂的堆叠体；

将该堆叠体加热至等于或高于第一温度的温度以使填充剂热分解并去除填充剂和压电层的位于填充剂的表面上的部分；并且

形成布置在压电层的一个表面上的第一电极和布置在压电层的另一个表面上的第二电极。

2.如权利要求1所述的制造压电促动器的方法，其中所述填充剂具有流动性。

3.如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中在去除所述填充剂和压电层的所述部分时，将所述堆叠体加热至不小于第二温度的温度，并且在该第二温度下对所述压电层进行退火，其中该第二温度大于所述第一温度。

4.如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的区域处形成所述凹进。

5.如权利要求4所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的周边部分的区域处形成所述凹进。

6.如权利要求4所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的中央部分的区域处形成所述凹进。

7.如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中所述基部构件具有作为所述不干涉部分的多个单独不干涉部分以及将所述多个单独不干涉部分分隔开的分隔壁；并且

在所述振动板的所述堆叠表面上在面对该分隔壁的区域处形成所述凹进。

8.如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中：

所述振动板由金属材料构成；并且

不断地对所述第一电极施加预定参考电位，并且选择性地对所述第二电极施加该参考电位或与参考电位不同的预定驱动电位，并且

该方法还包括：

在所述振动板的所述堆叠表面中形成所述凹进之后形成绝缘层，该绝缘层覆盖所述堆叠表面上的所述凹进；

在所述绝缘层的表面上在不面对凹进部分的区域处形成所述第一电极；并且

在所述绝缘层的表面上形成所述压电层以覆盖所述第一电极之后，在所述压电层的位于与所述振动板相反的一侧上的表面上在面对所述第一电极的区域处形成所述第二电极。

9.如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，还包括：将所述堆叠体加热至比第二温度低的温度，并且在该第二温度下对所述压电层进行退火以去除所述填充剂，其中该第二温度比所述第一温度高；然后将所述堆叠体加热至高于第二温度的第三温度以再次对所述压电层进行退火。

10.一种制造液体输送装置的方法，该方法包括：

提供通道单元，在该通道单元中形成有包括压力腔室的液体通道；

提供振动板，该振动板接合到通道单元的一个表面上以覆盖该压力腔室，振动板具有接合表面，通道单元接合在该接合表面上，并且振动板在与该接合表面相反的一侧上具有堆叠表面；

在振动板的堆叠表面中在与压力腔室对应的位置处形成凹进；

在振动板的该凹进中填充在第一温度下热分解的填充剂；

在振动板的堆叠表面上形成压电层；

形成包括振动板、压电层和填充剂的堆叠体；

将该堆叠体加热至不小于第一温度的温度以使填充剂热分解并去除填充剂和压电层的位于填充剂的表面上的部分；并且

通过在压电层的一个表面上布置第一电极并在压电层的另一个表面上布置第二电极来形成压电促动器。

11.如权利要求10所述的制造液体输送装置的方法，其中所述填充剂具有流动性。