[发明专利]蓄水冲洗架

说明书

技术领域

本发明涉及一种冲洗装置，尤其涉及硅片切割后对硅片进行冲洗的装置。

背景技术

硅片切割成若干片后，硅片的上端还粘在玻璃上，需用冲洗架对硅片进行冲洗方可取下，在冲洗时水直接排出，从而浪费了大量的水资源。经实践证明，在冲洗10分钟硅片基本干净后的水是可以再利用的。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种节约水资源的蓄水冲洗架。

本发明的目的是这样实现的：蓄水冲洗架，包括进水管，进水管的两个出水端分别连接第一水管，每根第一水管的另一端分别为盲端，每根第一水管上分别连接进水阀和至少一根第二水管，每根第二水管的另一端分别通过软管连接冲洗架，所述冲洗架的下方设置同一蓄水箱，蓄水箱的下端连接至少一根排水管，每根排水管上分别连接排水阀；所述蓄水箱的下端还连接至少一根第一循环水管，每根第一循环水管的出水端分别连接循环泵，每个循环泵的出水端分别连接第二循环水管，每根第二循环水管的出水端旁接在相应的第一水管上，每根第二循环水管的出水端设置在相应的进水阀与端部第二水管之间，每根第二循环水管上分别连接循环水阀。

本发明通过以上设计后，1、将硅棒放入冲洗架后，先将循环水阀关闭，后将自来水进水阀、冲洗阀、排水阀打开直接冲洗。2、待冲洗10分钟硅片基本干净后，将排水阀关闭，蓄水。3、蓄水两分钟后，将自来水进水阀关闭，将循环水阀打开，将循环泵运行，利用蓄水箱中水继续冲洗。4、继续冲洗40分钟可拨片，后将排水阀打开，将蓄水箱中污水排出。本发明节约水资源，节约成本。

为了方便蓄水箱两侧同时进行循环，蓄水箱底部的中间部分高于左右两端。

为了便于控制各冲洗架的开关，每根第二水管上分别连接冲洗阀。

附图说明

图1为本发明的一种结构示意图。

图2为图1的右视图。

图中，1蓄水箱，2冲洗架，3第一水管，4软管，5第二水管，6冲洗阀，7第二循环水管，8循环水阀，9循环泵，10连接板，11排水管，12排水阀，13进水管，14第一循环水管，15控制箱，16进水阀。

具体实施方式

如图1、2所示，为蓄水冲洗架，包括蓄水箱1，蓄水箱1底部的中间部分高于左右两端，蓄水箱1的上方连接六个冲洗架2。蓄水冲洗架还包括进水管13，进水管13的两个出水端分别连接第一水管3，每根第一水管3的另一端分别为盲端，每根第一水管3上分别连接进水阀16和三根第二水管5，每根第二水管5上分别连接冲洗阀6，每根第二水管5的另一端分别通过软管4连接相应的冲洗架2。

蓄水箱1下端的左右两侧分别连接排水管11，每根排水管11上分别连接排水阀12。蓄水箱1下端的左右两侧还分别连接第一循环水管14，每根第一循环水管14的出水端分别连接循环泵9，两个循环泵9通过同一控制箱15控制，每个循环泵9分别通过连接板10安装在蓄水箱1的左右两侧，每个循环泵9的出水端分别连接第二循环水管7，每根第二循环水管7的出水端旁接在相应的第一水管3上，每根第二循环水管7的出水端设置在相应的进水阀16与端部第二水管5之间，每根第二循环水管7上分别连接循环水阀8。