[发明专利]可二维微调的微型电动平移台有效
申请号: | 201110195387.7 | 申请日: | 2011-07-12 |
公开(公告)号: | CN102243357A | 公开(公告)日: | 2011-11-16 |
发明(设计)人: | 吴文镜;李国光;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 100029 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维 微调 微型 电动 平移 | ||
1.一种可二维微调的微型电动平移台,其特征于,包括:
基板(1)、导轨组件(2)、滑板组件(3)及驱动组件(4);
所述基板(1)与所述导轨组件(2)固定连接;所述驱动组件(4)与所述导轨组件(2)固定连接;所述滑板组件(3)串接于所述导轨组件(2)构成移动副;所述驱动组件(4)与所述滑板组件(3)配合连接构成旋转副。
2.根据权利要求1所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述驱动组件(4)通过螺栓(4-5)固定于所述导轨组件(2)的框架(2-1)上;所述滑板组件(3)的两个滑动轴承(3-2)穿接所述导轨组件(2)的两根光轴(2-2)上,并与之配合构成移动副;所述驱动组件(4)中的连杆(4-3)的一端与滑板组件(3)的连杆轴孔(3-3-1)配合连接,构成旋转副;所述导轨组件(2)的框架(2-1)的销钉孔(2-1-4)和基板(1)的销钉孔中插接有定位销(2-5);所述导轨组件(2)的框架(2-1)与基板(1)螺接。
3.根据权利要求2所述的微型电动平移台,其特征在于,所述导轨组件(2)包括:
框架(2-1)、两根光轴(2-2)、限位块(2-3)、弹性块(2-4)及调整螺钉(2-8);
其中,一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的轴孔(2-1-1),另一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2);
所述限位块(2-3)穿接于所述光轴(2-2);
所述弹性块(2-4)设置于所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内;
所述调整螺钉(2-8)与所述框架(2-1)的螺纹孔(2-1-5)配合,旋紧所述调整螺钉(2-8)便推动一所述光轴(2-2)在框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内向内侧移动;旋出调整螺钉(2-8),在所述弹性块(2-4)的弹力作用下,所述光轴(2-2)在长轴孔(2-1-2)内向外侧移动。
4.根据权利要求3所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述轴孔(2-1-1)及所述长轴孔(2-1-2)的孔径大于光轴(2-2)的轴径,且所述光轴(2-2)的长度与所述框架(2-1)的长度一致。
5.根据权利要求3所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述限位块(2-3)包括一个U形结构件和一个内六角螺钉;所述U形结构件中部有圆孔,开口处一侧是光孔,另一侧是螺纹孔;所述内六角螺钉穿过所述光孔与螺纹孔配合,旋合该内六角螺钉便可以改变U形结构件中部圆孔的大小。
6.根据权利要求5所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述限位块(2-3)和弹性块(2-4)是两个。
7.根据权利要求3所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述框架(2-1)是由左板(2-1-9)、右板(2-1-10)和底板(2-1-11)组成的“U”形的结构件。
8.根据权利要求7所述的微型电动平移台,其特征在于:
所述左板(2-1-9)为类三角形板形结构,上部有一个所述轴孔(2-1-1),中部有三个螺纹孔(2-1-6),下部有所述长轴孔(2-1-2);
所述右板(2-1-10)为类梯形板形结构,上部有一个所述轴孔(2-1-1),中部有一个弧形螺栓孔(2-1-3)和一个销钉孔(2-1-4),并且弧形螺栓孔(2-1-3)的圆心与销钉孔(2-1-4)的中心重合;
所述右板(2-1-10)下部有长轴孔(2-1-2),所述长轴孔(2-1-2)外侧有螺纹孔(2-1-5);所述螺纹孔(2-1-5)与所述长轴孔(2-1-2)贯通;所述轴孔(2-1-1)上部有狭缝(2-1-8),所述狭缝(2-1-8)一侧有光孔(2-1-7),另一侧有对应的螺纹孔。
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