[发明专利]四质量块硅微机械陀螺耦合误差的抑制方法

权利要求书

1.一种四质量块硅微机械陀螺耦合误差的抑制方法，其特征在于步骤为：

(1)将硅微机械陀螺中的四个质量块分成两组，并将硅微机械陀螺表头(528)等效为7端器件：包括驱动1+(521)、驱动1-(522)、驱动2+(523)、驱动2-(524)、敏感+(525)、敏感-(526)、公共极(527)；

(2)设置驱动主控制回路与驱动从控制回路以对两组质量块分别进行独立控制；

(3)驱动从控制回路通过事先标定并且设定驱动直流V_DC2(544)的值，使得通过公共极(527)、驱动主控制回路中的高通滤波器0(530)和敏感一次解调(547)输出信号的耦合误差被消除。

2.根据权利要求1所述的四质量块硅微机械陀螺耦合误差的抑制方法，其特征在于：所述驱动主控制回路采用闭环控制策略，包括电荷放大器(529)、高通滤波器0(530)、驱动一次解调单元(531)、闭环驱动控制单元(535)、驱动直流V_DC1(536)以及驱动载波V_c1sin(ω_c1t)(537)，用来使电路的谐振频率等于第一组质量块中质量块M1(501)与质量块M2(502)机械运动时的等效谐振频率；所述闭环驱动控制单元(535)输出的驱动交流V_AC sin(ω_0xt)同时输出到驱动2+(523)的信号求和端(545)，交流信号经反向器(538)后同时输出驱动2-(524)的信号求和端(546)。

3.根据权利要求1所述的四质量块硅微机械陀螺耦合误差的抑制方法，其特征在于：所述驱动从控制回路采用开环控制策略，利用与驱动主控制回路同频的驱动交流V_AC sin(ω_0xt)进行控制，即驱动2+(523)的驱动交流信号来自驱动1+(521)，驱动2-(524)的驱动交流信号来自驱动1-(522)。