[发明专利]电动马达驱动用半导体元件

说明书

技术领域

本发明请求2010年7月23日在日本提出的专利申请No.2010-16155的优先权，并将其说明书、附图及摘要引入本申请。

本发明涉及电动马达驱动用半导体元件。

背景技术

车辆用电动动力转向装置具备无刷电动马达等电动马达及驱动电路。驱动电路驱动电动马达。驱动电路包括MOSFET等开关元件(半导体元件)。开关元件例如以裸芯片状态被安装于电路基板。键合线与电路基板上安装的开关元件的例如源电极接合。键合线与电动马达的线圈接合。键合线连接电路基板上安装的开关元件的例如源电极和电动马达的线圈。

包含该开关元件的驱动电路在从工厂出厂前进行检查。该检查例如通过用检查用探针接触上述的源电极的表面而进行。例如在日本特开2002-329742号公报、日本特开2005-527968号公报记载有使用探针的半导体元件的检查方法。

在日本特开2002-329742号公报、日本特开2005-527968号公报所记载的半导体元件的电极表面具有键合线接合的区域和检查用探针接触的区域。键合线接合的区域与接触检查用探针的区域相连。但是，这样的构成可以说对电动马达驱动用的开关元件的检查没有经过特别的考虑。

电动马达驱动用的开关元件驱动电动马达时，在电动马达驱动用的开关元件中流过大电流。因此，在检查电动马达驱动用的开关元件时有时不使用普通的探针而使用专用的探针。该专用探针具有与普通探针不同的形状。例如，专用探针的前端部是花插座形状。花插座形状的专用探针的前端部具有多个与开关元件的电极表面接触的尖锐的接触部。或者，专用探针的前端部是极粗的形状。因此，专用探针的前端部与普通探针的前端部相比，以宽的范围与开关元件的电极表面接触。因此，专用探针的前端部不仅以不与键合线接合的区域接触的方式严格地定位在开关元件的电极表面，还需要接触开关元件的电极表面。

但是，如上所述在专利文献1、2的构成中，半导体元件的电极的表面上键合线接合的区域和检查用探针接触的区域相连。因此，很难分开键合线接合的区域和检查用探针接触的区域。因此，操作员在使用探针进行检查时，存在操作员错误地将检查用探针的前端接触到键合线接合的区域而造成损伤的问题。因该检查用探针而被损伤的键合线接合的区域上的损伤是造成键合线与键合线接合的区域进行接合时的接合不良的原因。

并且，操作员在使用检查用探针进行开关元件的检查时，区分键合线接合的区域和检查用探针接触的区域需要花费时间，降低制造效率。结果，使制造成本变高。

另一方面，考虑到使用自动检查装置检查开关元件的情况。此时，考虑如下的检查方法。自动检查装置首先通过摄像机对开关元件的电极表面进行拍摄。接着，自动检查装置通过图像处理装置识别键合线接合的区域和检查用探针接触的区域。接着，自动检查装置利用机器臂等移动检查用探针，使检查用探针接触到接触检查用探针的区域。

在使用自动检查装置检查开关元件时也存在与操作员使用检查用探针检查开关元件时一样的不良情况。该不良情况是很难区分键合线接合的区域和检查用探针接触的区域。存在自动检查装置误检测出键合线接合的区域和检查用探针接触的区域的问题。此时也存在自动检查装置错误地使检查用探针的前端接触到键合线接合的区域而造成损伤的问题。使用自动检查装置检查开关元件时为了能够准确地识别上述两个区域而需要包含高分辨率的摄像机的高级的图像处理装置，从而会使成本变高。

发明内容

本发明的目的之一在于，在电动马达驱动用半导体元件中，实现对发生接合不良的抑制，以及对制造成本的抑制。

本发明的一方面的电动马达驱动用半导体元件3的构成上的特征是：具有规定的电极5，上述规定的电极具有：主电极面10，其接合流过上述电动马达的驱动电流的导电部件31；检查用电极面20，其与该主电极面独立且分离地配置，用于与检查上述半导体元件的检测装置40的接触部47接触。

附图说明

本发明的这些特征和其它优点能够通过参照附图的下述实施方式的说明而变得明确，这些附图中相同或相似的部位被标注了相同符号。

图1是包含本发明的一个实施方式的半导体元件的元件安装基板的主要部分的示意性俯视图。

图2是用于说明FET检查的图，(A)是检查装置及FET的示意性立体图，(B)是用于说明检查时的状态的示意性立体图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的优选实施方式。