[发明专利]氮化硅复合发热体及其制作方法

权利要求书

1.一种氮化硅复合发热体，其特征在于，其包括发热源及发热本体，发热本体包括粉体组分：铜、钼、镍及氮化硅，发热源包括粉体组分：钨，上述各粉体组分重量份如下：铜2-4份、钼25-30份、镍15-20份、氮化硅6-23份、及钨35-40份。

2.一种氮化硅复合发热体的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供原料粉体并制备钨粉坯体，原料粉体包括：钨35-40份、铜2-4份、钼25-30份、镍15-20份、及氮化硅6-23份；

步骤2、制作氮化硅坯体：将铜、钼、镍、及氮化硅粉体按比例混合，放入金属模具中压制，形成氮化硅毛坯；

步骤3、毛坯成型：将钨粉坯体放入氮化硅坯体中，加压，使得钨粉坯体完全包裹于氮化硅坯体中，制得毛坯；

步骤4、震荡烧结；

步骤5、冷却，制得氮化硅复合发热体。

3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，步骤1中将钨粉体放入模具中进行压制，形成钨粉坯体，备用。

4.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述钨粉坯体为发热源坯体，氮化硅坯体为发热本体坯体。

5.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述步骤3中，采用模具将钨粉坯体压制在氮化硅坯体中，该模具中间设有插销，通过该插销将钨粉坯体包裹于氮化硅毛坯中，压制制得坯体。

6.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，步骤4中采用双向热压震荡烧结炉以60-150吨双向压力对毛坯进行震荡烧结，烧结温度为1500-1800℃。