[发明专利]基板检查装置及基板检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板检查装置及基板检查方法。

背景技术

以往，在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display，液晶显示器)、PDP(Plasma Display Panel，等离子显示板)、有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示器、表面传导型电子发射元件显示器(SED：Surface-conduction Electro-emitter Display)等的FPD(Flat Panel Display，平板显示器)基板、半导体晶圆、印刷电路板等各种基板的制造中，为了提高其出品率，在各图案处理之后，依次检查是否存在配线的短路、连接不良、断线、图案缺陷等的图案错误。作为这种基板检查的技术，例如存在以下所示的专利文献1公开的基板检查装置。该基板检查装置利用用于载置基板的浮板自下方照射基板同时进行基板检查，即所谓的透过照明件型的基板检查装置。

专利文献1：日本特开2010-91435号公报

但是，在透过照明件型的基板检查装置中，当在透过照明件用的光源中使用LED(发光二极管)等的点光源时，光源和基板上的缺陷之间的位置关系有时会导致无法准确地查看该缺陷。因此，以往是使基板移动，以使查看对象的各缺陷位于缺陷查看用的聚光透镜的上方。因此，需要根据缺陷的数量来移动基板，其结果存在基板整体的生产节拍时间有时会增加的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种降低基板整体的生产节拍时间增加的基板检查装置及基板检查方法。

为了达到上述目的，本发明的基板检查装置的特征在于，包括：台，其以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个板，该基板输送面用于支承基板；面光源，其配置在比上述基板输送面靠下方的位置，并用于自相邻的上述板之间对上述基板进行照明；光学单元，其能够在上述台的上方相对于该台水平移动；以及基板移动部，其用于使上述台上的上述基板沿上述宽度方向移动预定距离。

本发明的基板检查方法对载置在台上的基板使用面光源进行照明的同时进行检查，该台以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个板，该基板输送面用于支承基板，该面光源配置在比上述基板输送面靠下方的位置，其特征在于，上述基板检查方法包括：检查步骤，其用于检查位于相邻的上述板之间的区域上的基板的1个以上区域；以及基板移动步骤，其用于使上述台上的上述基板沿上述宽度方向移动预定距离。

根据本发明，能够通过使基板移动而重新照射被浮板等挡住而未被照射过的区域，因此，能够实现能准确地检查大型基板的基板检查装置及基板检查方法。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的基板检查装置的概略结构的立体图；

图2是表示实施方式1的基板保持件的概略结构的俯视图；

图3是用于说明当自图2所示的状态移动了基板时的基板保持件的俯视图；

图4是用于说明当自图2所示的状态移动了基板时的基板保持件的俯视图；

图5是用于说明当实施方式1中的浮板的宽度与相邻的浮板之间的距离相等时的示意图；

图6是用于说明当实施方式1中的浮板的宽度是相邻的浮板之间的距离的n倍时的示意图；

图7是表示实施方式1的基板检查装置的驱动机构的概略结构的框图；

图8是表示实施方式1的基板检查方法的概略的流程图；

图9是表示实施方式1的基板检查装置的概略的流程图；

图10是表示实施方式1的变形例1的输送台的概略结构的局部剖视图；

图11是表示实施方式1的变形例2的输送台的概略结构的局部剖视图；

图12是表示本发明的实施方式2的基板检查方法的概略的流程图；

图13是用于说明实施方式2的基板检查方法中的移动动作的概略的图。

具体实施方式

以下，结合附图详细说明用于实施本发明的实施方式。另外，在以下的说明中，各图只在能够理解本发明的内容的程度下概略地表示了形状、大小及位置关系，因而，本发明并不限于在各图中例示的形状、大小及位置关系。此外，在各图中，为了使结构清楚，省略了截面中的阴影的一部分。而且，在后述中例示的数值只是本发明的优选例，因而，本发明不限于被例示的数值。

(实施方式1)