[发明专利]一种硅片清洗用双层石英槽无效

申请号：	201110198571.7	申请日：	2011-07-15
公开（公告）号：	CN102254793A	公开（公告）日：	2011-11-23
发明（设计）人：	沈法松	申请（专利权）人：	苏州凯西石英电子有限公司
主分类号：	H01L21/00	分类号：	H01L21/00;B08B3/04
代理公司：	苏州创元专利商标事务所有限公司 32103	代理人：	孙仿卫;汪青
地址：	215233 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种硅片清洗双层石英
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【权利要求书】：

1. 一种硅片清洗用双层石英槽，包括槽体和设置在槽体内的电热偶护管，其特征在于：所述槽体包括在底部具有废液排出口的石英内槽体（1）、位于所述石英内槽体（1）外周且与所述石英内槽体（1）外壁之间构成液体通道（3）的石英外槽体（2），所述石英外槽体（2）的下部设有出液口，所述石英槽还包括一端连接在所述石英外槽体（2）的出液口处的石英回流管（4）以及与所述石英回流管（4）的另一端部相连通用于将石英回流管（4）中的液体输入至所述石英内槽体（1）中的输送装置。

2. 根据权利要求1或所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述石英回流管（4）与所述的外槽体（2）之间螺纹连接。

3. 根据权利要求1所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述输送装置包括一端部插入所述外槽体（2）设置的第一进液管（5）、连接在所述的第一进液管（5）的另一端部与所述石英回流管（4）之间的过滤增压器（6）以及位于所述内槽体（1）内且与所述第一进液管（5）连通的第二进液管（7）。

4. 根据权利要求3所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述第二进液管（7）安装在所述内槽体（1）的底部，其上布满了大小一致的出液孔（70）使得液体能够均匀地流至所述内槽体（1）中。

5. 根据权利要求4所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述的第二进液管（7）有2根， 2根所述的第二进液管（7）分别位于所述内槽体（1）的两相对侧，且均沿着所述槽体（1）的长度方向延伸，2根所述的第二进液管（7）的伸出所述内槽体（1）的端部分别与一水平设置的连接管（8）连接，所述连接管（8）在中部连接所述的第一进液管（5）的位于所述外槽体（2）内的端部。

6. 根据权利要求3或4或5所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述的第一进液管（5）与所述外槽体（2）的侧壁之间螺纹连接，所述第二进液管（）与所述内槽体（1）的侧壁之间螺纹连接。

7. 根据权利要求1所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述内槽体（1）的底（10）倾斜设置，所述的废液排出口位于所述的内槽体（1）较低的一侧，在所述废液排出口位置连接有废液排放管（11）。

8. 根据权利要求1所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述内槽体（1）在槽口位置呈齿形。

9. 根据权利要求1所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述的外槽体（2）的底（20）倾斜设置，所述的出液口开设在所述的外槽体（2）的底部。

10. 根据权利要求1所述的硅片清洗用双层石英槽，其特征在于：所述内槽体（1）的内壁上设有护栏（12），所述的电热偶护管插设在所述护栏（12）内。

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