[发明专利]静电电容型触摸屏面板及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸屏面板，包括：

基板；

电极形成部分，位于基板上，所述电极形成部分包括在第一方向上彼此平行设置的多个第一电极序列和与所述多个第一电极序列交叉设置的多个第二电极序列；

线路布线部分，位于所述电极形成部分之外的基板上，所述线路布线部分包括分别连接到所述多个第一电极序列的多个第一线路布线和分别连接到所述多个第二电极序列的多个第二线路布线；

多个第一连接图案，彼此分隔地形成在与多个第一和第二线路布线相同的水平层上；和

绝缘层，用来在所述多个第一电极序列和多个第二电极序列的交叉处绝缘所述多个第一电极序列和多个第二电极序列，

其中所述多个第一电极序列中的每一个包括彼此分隔的多个第一电极图案，

其中所述多个第一电极图案中的每一个形成在相邻的第一连接图案的相对端上和所述相对端之间的基板上，

其中相邻的第一电极图案由所述第一连接图案彼此连接。

2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述绝缘层包括用来暴露所述第一连接图案中每一个的第一和第二部分的第一绝缘图案和用来暴露所述第一线路布线中每一个的一部分和所述第二线路布线中每一个的一部分的第二绝缘图案。

3.如权利要求2所述的触摸屏面板，其中所述第一电极图案中的每一个包括：

第一部分，用来与所述第一连接图案的第一部分重叠；

第二部分，用来与所述第一连接图案的第二部分重叠，所述第一连接图案的第二部分邻近与所述第一电极图案的第一部分重叠的第一连接图案；和

中心部分，位于所述第一电极图案的第一和第二部分之间的基板上。

4.如权利要求1所述的触摸屏面板，还包括焊盘部分，所述焊盘部分包括分别通过多个第一线路布线连接到多个第一电极序列的多个第一焊盘和分别通过多个第二线路布线连接到多个第二电极序列的多个第二焊盘，

其中所述多个第一和第二焊盘中的每一个具有包括下层和上层的双层结构。

5.如权利要求4所述的触摸屏面板，其中所述多个第一连接图案、多个第一和第二线路布线、和多个第一和第二焊盘的下层是金属层。

6.一种触摸屏面板的制造方法，包括：

第一工序，用来在基板上形成第一导电层，并且对所述第一导电层图案化以在基板上形成包括多个第一连接图案、多个第一线路布线、和多个第二线路布线的第一导电图案；

第二工序，用来在上面形成了第一导电图案的基板的整个表面上形成绝缘层，使用半色调掩模形成具有第一高度和比第一高度大的第二高度的光致抗蚀剂图案，使用所述光致抗蚀剂图案将所述绝缘层图案化以暴露多个第一连接图案中每一个的第一部分和第二部分，在所述多个第一连接图案中每一个的中心部分上形成第一绝缘图案，和在所述多个第一线路布线上形成第二绝缘图案；和

第三工序，用来在上面形成了第一和第二绝缘图案的基板上和光致抗蚀剂图案上形成第二导电层，采用剥离工序去除光致抗蚀剂图案和光致抗蚀剂图案上的第二导电层，和形成包括在第一方向上彼此平行设置的多个第一电极序列和在与第一方向交叉的第二方向上彼此平行设置的多个第二电极序列的第二导电图案，

其中所述多个第一电极序列中的每一个包括用多个第一连接图案彼此连接的多个第一电极图案，所述多个第二电极序列设置在与所述多个第一电极序列交叉的方向上并且包括用多个第二连接图案彼此连接的多个第二电极图案，

其中所述多个第一电极图案中的每一个形成在相邻的第一连接图案的相对端上和所述相对端之间的基板上，

其中相邻的一对第一电极图案通过第一连接图案彼此连接。

7.如权利要求6所述的方法，其中用光刻工序或丝网印刷方法形成所述第一导电图案。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述第二工序包括：

在上面形成了第一导电图案的基板的整个表面上形成绝缘层；

用半色调掩模在绝缘层上形成具有第一高度和第二高度的光致抗蚀剂图案；

用光致抗蚀剂图案将绝缘层图案化，以形成暴露多个第一连接图案中每一个的第一和第二部分的第一绝缘图案，并且形成暴露多个第一线路布线中每一个的一部分和多个第二线路布线中每一个的一部分的第二绝缘图案；和

灰化所述光致抗蚀剂图案，使得光致抗蚀剂图案的具有第一高度的部分被去除以暴露与光致抗蚀剂图案的具有第一高度的部分相对应的绝缘层。