[发明专利]具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法

权利要求书

1.具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法，其特征在于，通过高能量脉冲激光辐照，实现稳定的氧化锌疏水表面，退火使氧化锌单晶表面恢复到初始接触角；具体包括的激光辐照疏水化和退火亲水化两个步骤如下：

(1)激光辐照疏水化

1)确定辐照位置，计算光斑大小，得到能量密度，使激光能量密度最佳为200-600mJ/cm²，激光频率3-5Hz；

2)选取氧化锌单晶样品，其尺寸小于光斑尺寸；

3)将氧化锌单晶置于样品台上光斑区域内，对其表面进行激光辐照，达到疏水表面的激光脉冲数至少为50个，实现氧化锌单晶表面疏水化；

(2)退火亲水化处理

1)将上述激光辐照后的表面疏水化的氧化锌单晶清洁烘干后，放入坩埚内，推入退火炉炉腔抽真空；

2)打开气阀向炉内冲入氧气0.5Mpa后关闭气阀；

3)在退火炉上进行退火处理：先升温，升温速度100℃/小时，升温时间3-8小时；然后保温1小时；最后降到室温，降温速度100℃/小时。

2.按照权利要求1的方法，其特征在于，步骤(1)中所使用的激光优选采用KrF准分子激光。