[发明专利]用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物无效
| 申请号： | 201110202425.7 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102314101A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 洪宪杓;尹嚆重;房淳洪;李承佣 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立;高为华 |
| 地址： | 韩国全罗北道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 除去 聚酰亚胺 洗剂 组合 | ||
1.一种用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，包含：基于所述组合物的总量，
0.1～10wt％的氢氧化季铵，所述氢氧化季铵由下列分子式1表示；
50～90wt％的乙二醇醚化合物；
7～30wt％的丙三醇；和
剩余的水；
[N-(R)4]+·OH- ----分子式1
其中R是碳原子为1至5中的烷基。
2.根据权利要求1的用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，其中所述氢氧化季铵选自由氢氧化四甲铵、氢氧化四乙铵、氢氧化四丙铵、和氢氧化四丁铵所组成的组中的至少一种。
3.根据权利要求1的用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，其中所述乙二醇醚化合物由下列分子式2表示：
R-O-(CH2CH2O)nH ------分子式2
其中R是碳原子为1至5的烷基，并且n是1至5中的整数。
4.根据权利要求3的用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，其中所述的由上述分子式2表示的乙二醇醚化合物选自由乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、和三乙二醇单甲醚所组成的组。
5.根据权利要求1的用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，其中所述组合物不包含防腐蚀剂。
6.根据权利要求1的用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，其中所述组合物不包含含氟化合物。
7.一种制造用于液晶显示器的阵列基板的方法，包含使用权利要求1至6中的任意一种所述清洗剂组合物清洗基板的工艺。
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