[发明专利]热阴极离子源系统有效
| 申请号： | 201110202481.0 | 申请日： | 2011-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102891060A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 钱锋;陈炯;洪俊华 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;王婧荷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热阴极 离子源 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，其特征在于，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。
2.如权利要求1所述的热阴极离子源系统，其特征在于，该热阴极离子源系统为用于太阳能晶片的离子注入的热阴极离子源系统。
3.如权利要求2所述的热阴极离子源系统，其特征在于，该多个电极为一等离子体电极、一抑制极以及一接地极，该等离子体电极与该接地极之间采用绝缘材料相互固接，该抑制极与该接地极之间采用绝缘材料相互固接。
4.如权利要求2所述的热阴极离子源系统，其特征在于，该多个电极为一等离子体电极、一梯度电极、一抑制极以及一接地极，该等离子体电极与该接地极之间采用绝缘材料相互固接，该抑制极与该接地极之间采用绝缘材料相互固接，该梯度电极与该抑制极之间采用绝缘材料相互固接。
5.如权利要求3或4所述的热阴极离子源系统，其特征在于，该绝缘材料为陶瓷。
6.如权利要求3或4所述的热阴极离子源系统，其特征在于，每个馈通均还包括一第二导体，该第一导体和/或该第二导体具有弹性，该第二导体的一端与该第一导体固接、另一端用于紧抵于相应的电极上。
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