[发明专利]高精度集成电路器件测试设备有效
| 申请号： | 201110203000.8 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102890231A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 殷华湘;梁擎擎;钟汇才 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R27/26;G01R27/08 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高精度 集成电路 器件 测试 设备 | ||
1.一种高精度集成电路器件测试设备，包括倍频器、高频信号源、电桥自动平衡模块、混频器和电压矢量检测模块，倍频器将基频信号倍增至高频，高频信号源将测试信号输送至待测器件，输出的测试结果信号先经过电桥自动平衡模块输送至末端混频器以降低至基频，然后通过电压矢量检测模块输出最终的测试结果，其特征在于：同一电路内高频信号源通过倍频器产生两种不同频率的高频测试信号用于半导体器件的高频与射频双模式的等效阻抗检测。
2.如权利要求1的设备，其中，所述测试信号为射频信号以及超高频信号。
3.如权利要求2的设备，其中，所述射频信号频率大于1GHz，所述超高频信号频率为2至200MHz。
4.如权利要求1的设备，其中，采用多级倍频器将基频倍增到测试信号所需的频率。
5.如权利要求4的设备，其中，所述基频频率为32.768KHz、100KHz、200KHz、455KHz、600KHz、1MHz。
6.如权利要求1的设备，其中，所述高频信号源包括外接射频源。
7.如权利要求6的设备，其中，外接射频源经由倍频器连接至信号源端的混频器，从而产生射频信号。
8.如权利要求1的设备，其中，所述电压矢量检测模块包括电压计、相位探测器、调制器、模数转换器。
9.如权利要求1的设备，其中，所述电桥自动平衡模块包括电阻、平衡器、放大器和电压计，用于将待测器件输出的信号输送至混频器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110203000.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
