[发明专利]多注行波管阴极可伐热屏的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种多注阴极组件的制备方法，尤其是涉及一种多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，属于阴极组件制备技术领域。 

背景技术

多注行波管是在大功率行波管的基础上，将多电子注技术、宽带技术、周期永磁聚焦和高发射密度阴极等结合在一起而发展起来的一种新颖的大功率微波真空电子器件。其具有导流系数高、工作电压低、体积、重量小、频带宽、频率和增益高等优点。这些特点使它成为一种低工作电压、紧凑型的大功率微波放大器件，是现在大功率微波电子系统的发射机末级功率放大器最有竞争力的器件之一。 

现在的多注行波管几乎都是基于谐振腔基模工作的，研制中需要解决许多理论技术、工艺等方面问题，其中，最关键的技术问题之一是制备具有高发射电流密度的阴极组件，尤其是弹载多注行波管对阴极组件的要求更加苛刻，它不但要求阴极组件具有高发射电流密度，还要求阴极组件具有耐振动、耐冲击以及高可靠等特点。而对阴极热屏零件来讲，不但需要满足热子组件在低温状态下阴极能够正常工作，而且还需要零件具有优化结构，因此热屏零件需要具有高的热屏蔽效果、合理结构、高精度和高机械性能。 

发明内容

为解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种具有高精度、高机械性能、结构合理且热屏蔽效果高的多注行波管阴极可伐热屏的制备方法。 

为达到上述目的，本发明是通过以下的技术方案来实现的： 

一种多注行波管阴极可伐热屏的制备方法，对可伐毛坯零件先进行氢气退火处理，以消除应力，降低硬度、稳定尺寸，增加可塑性，采用高精度的模具保证冲压、旋压、车加工和电火花加工，然后将加工好的零件经过化学处理去除由机械加工带来的杂质和油渍，最后把清洗后的零件经过真空高频退火处理，进一步净化零件，同时去除零件表面吸附的气体，提高零件的光洁度，得到高精度、高热屏蔽效率的多注阴极可伐热屏，具体包括以下步骤：

（1）对可伐片材进行可伐毛坯加工：首先将可伐片材切割成满足加工要求的条带，然后将条带冲切成圆片并去除圆片周边的毛刺；

（2）在超声波中清洗可伐毛坯零件：对步骤（1）加工后的可伐毛坯零件进行超声波清洗，然后进行脱水及干燥；

（3）酸洗抛光：将步骤（2）干燥后的可伐毛坯零件放入化学抛光溶液中进行酸洗抛光，然后进行清洗、脱水和干燥处理；

（4）对可伐毛坯零件进行氢气退火处理：将步骤（3）中处理好的可伐毛坯零件放入钽筒中，然后将钽筒放在高频炉的工件托架上，并放好钟罩，进行真空高频氢气退火处理；

（5）旋压处理：用顶针经衬套将步骤（4）经过氢气退火处理的可伐毛坯零件压紧到一次旋压夹具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，调整可伐毛坯零件位置，使其圆心与一次旋压夹具端面圆心在一条直线上，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在一次旋压夹具上，旋压结束后，松开夹具，取下一次旋压形成的可伐毛坯零件，然后再重复上述步骤（2）、（3）、（4），且进行二次旋压，用顶针经衬套将完成一次旋压的可伐毛坯零件紧固到二次旋压夹具上，然后在可伐毛坯零件上抹上油，启动车床，然后用黄铜旋压棒紧靠在车床附加柱子上，使黄铜旋压棒圆端紧压在可伐毛坯零件右侧，随着车床转轴旋转，缓慢地将可伐毛坯零件旋压在二次旋压夹具夹具上，旋压结束后，松开夹具，取下二次旋压形成的可伐毛坯，且二次旋压后重复步骤（4）；

（6）对可伐毛坯零件进行车加工处理：将可伐毛坯零件放到镗加工卡头夹具上，车削可伐毛坯零件的端面尺寸和外径尺寸，并磨钝锐边，车加工完成后去除毛刺，并重复步骤（2）、（3）；

（7）检测可伐毛坯零件尺寸：通过塞规检测零件尺寸，并放大检测零件是否有毛刺；

（8）加工槽：通过电火花加工8或12个槽，并检测槽的尺寸，然后重复步骤（2）和步骤（3）；

（9）真空高频退火处理：将经过步骤（8）处理过的零件进行两级真空高频退火处理后得到多注行波管阴极可伐热屏。

其中，步骤（2）所述的超声波的震荡频率为17.5～23.5KHz，清洗时间为15～20min，且清洗结束后的电阻大于2MΩ，且通过无水乙醇进行3-5s的脱水处理，而干燥条件为干燥温度75～85°C、干燥时间为10～45min。 

步骤（3）所述的化学抛光溶液包括硫酸、硝酸和醋酸，且硫酸、硝酸和醋酸的体积比为：5±0.2：300±10：700±15。