[发明专利]一种黑心硅片的快速检测方法无效
申请号: | 201110203126.5 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN102313865A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 张华东;贾孝董;刘成;张周达;徐建飞 | 申请(专利权)人: | 浙江尖山光电股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所 33230 | 代理人: | 陈辉 |
地址: | 314415 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 黑心 硅片 快速 检测 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种黑心硅片的快速检测方法,其特征在于对制成黑心硅片的原料硅棒的头、尾两端分别切一薄片,并使用碘酒对薄片钝化后再用少子寿命测试仪进行测试确定其少子寿命。
2.根据权利要求1所述的一种黑心硅片的快速检测方法,其特征在于所述薄片的厚度为2mm。
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