[发明专利]一种钌酸锶靶的制备方法有效
| 申请号： | 201110203525.1 | 申请日： | 2011-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN102259937A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄富强;刘战强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C01G55/00 | 分类号： | C01G55/00;C04B35/01;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/34 |
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| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钌酸锶靶 制备 方法 | ||
1.一种钌酸锶陶瓷靶的制备方法，其特征在于采用低温预烧-高温加压烧结两步法制备出SRO陶瓷靶，具体制备步骤为：
(1)将SrCO3、Ru源按摩尔比0.95-1.06∶1配制成SrRuO3比例混合，研磨混合均匀并压片；
(2)压片后的原料在550-950℃下预烧2-24h，取出研磨至粉体；按SrRuO3质量百分比为1-10％的比例加入粘结剂后再次研磨并至均匀混合。
(3)将混匀后的粉末压成预置圆片或者方片；
(4)将压制得到的预置片材放入热压模套中，并用填料进行填埋；
(5)将热压模套转移至热压炉内，温度升至400-600℃并保温1-5h；接着温度升至800-1050℃并保温1-15h；保温结束后再将温度升至1200-1600℃，同时在升温过程中逐渐对预置圆片或方片加压至100-200MPa；之后保温保压2-24h；
(6)结束后取出SRO片材，清除表面填料后得到SRO靶材，所述的SRO为钌酸锶的英文缩写。
2.按权利要求1所述的方法，其特征在于所述的Ru源可以是Ru、RuO2的任一种或两种的混合物。
3.按权利要求1所述的方法，其特征在于所述的粘结剂为甲基纤维素、聚乙烯醇、羟丙基甲基纤维素或聚酰胺中的任一种或任两种的混合物。
4.按权利要求1所述的方法，其特征在于所述的填料为锆砂和氧化铝粉中的任一种或两种的混合物。
5.按权利要求1或4所述的方法，其特征在于所述的填料粒径为5-200目。
6.按权利要求1所述的方法，其特征在于所述的加压方法为每30-50min加压5-20MPa。
7.按权利要求1所述的方法，其特征在于热压模套材料为碳化硅、氧化铝或者氮化硼。
8.按权利要求1所述的方法，其特征在于制备的SRO陶瓷靶可达理论密度86-88％。
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