[发明专利]一种基因进入细胞检测和注射一体化系统及工艺

权利要求书

1.一种基因进入细胞检测和注射一体化系统，包括原子力显微镜中的激光发生器(1)、反射镜(2)、光电检测器(3)，探针(4)、探针内注射管道(5)、微量控制系统(6)与探针(4)、探针内注射管道(5)组成的原子力显微镜探针连接；激光发生器(1)发出的激光打在探针(4)的悬臂梁上，通过反射镜(2)被光电检测器读到，其特征在于，探针(4)与悬臂梁的一端连接，悬臂梁内有管道，探针(4)两侧开孔与悬臂梁内的管道接通，悬臂梁的另一端连接微量控制系统(6)，探针针尖直径为8nm～10nm，悬臂梁内部管道的矩形截面长20～30μm，宽1μm。

2.根据权利要求1所述的一种基因进入细胞检测和注射一体化系统，其特征在于，微量注射系统又包括减速装置(7)、微量泵(8)、控制系统(9)和信号检测(10)。

3.一种基因进入细胞检测和注射一体化系统制备工艺，其特征在于，具体步骤如下：

1)硅片上旋涂光刻胶厚度0.4～0.9μm，曝光45秒，刻蚀得到沟槽结构，然后通过键合技术形成具有内部通道结构的悬臂梁；

2)在悬臂梁一端旋涂电子束光刻胶厚度0.5μm，刻蚀得到直径8～10纳米的针尖，制作定位基准，针尖两侧套刻出直径200～300nm的圆孔；

3)微量控制系统(6)通过控制系统调节微量泵，由减速装置实现微流体的准确进入细胞。

4.根据权利要求3所述的一种基因进入细胞检测和注射一体化系统制备工艺，其特征在于，所述的检测注射一体化系统，该系统基本组成单元为具有内部通道的探针和悬臂梁。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，探针(4)、探针内注射管道(5)所采用的材料是硅或氮化硅。

6.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所采用的细胞是肿瘤细胞或正常细胞。