[发明专利]光电探测器校准装置及其校准方法

权利要求书

1.一种光电探测器校准装置，其特征在于，包括

分光棱镜，位于所述光电探测器上方，所述光电探测器位于工件台上，照明光通过所述分光棱镜分为第一测量光和第二测量光；

绝对探测器，位于所述分光棱镜一侧，所述第二测量光入射到所述绝对探测器，所述第一测量光入射到所述光电探测器；以及

处理单元，用于对所述绝对探测器测得的第二测量光光强和所述光电探测器测得的第一测量光光强进行计算，建立所述光电探测器和所述绝对探测器的关系，校准所述光电探测器的增益和偏置。

2.根据权利要求1所述的光电探测器校准装置，其特征在于，水平向控制器控制所述分光棱镜沿水平向移动。

3.根据权利要求2所述的光电探测器校准装置，其特征在于，执行曝光校准时，所述水平向控制器通过可伸缩线缆驱动所述分光棱镜位于所述光电探测器正上方。

4.根据权利要求1所述的光电探测器校准装置，其特征在于，垂向控制器控制所述绝对探测器沿垂向移动。

5.根据权利要求4所述的光电探测器校准装置，其特征在于，执行曝光校准时，所述垂向控制器控制所述绝对探测器位于垂向最佳焦平面上。

6.根据权利要求4或5所述的光电探测器校准装置，其特征在于，所述垂向控制器通过伸缩器驱动所述绝对探测器沿垂直方向运动。

7.根据权利要求1所述的光电探测器校准装置，其特征在于，照明光通过所述分光棱镜分为50％光强的透射光和50％光强的反射光。

8.根据权利要求1所述的光电探测器校准装置，其特征在于，所述第一测量光为透射光，所述第二测量光为反射光。

9.根据权利要求1所述的光电探测器校准装置，其特征在于，还包括位于所述分光棱镜上方的光束转换晶体，所述照明光通过所述光束转换晶体后入射到所述分光棱镜。

10.根据权利要求9所述的光电探测器校准装置，其特征在于，所述照明光为深紫外线光，通过所述光束转换晶体转换为可见光。

11.根据权利要求10所述的光电探测器校准装置，其特征在于，所述光束转换晶体为YAG:CE晶体。

12.一种光电探测器校准方法，其特征在于，包括

照明光通过分光棱镜分为第一测量光和第二测量光；

所述第二测量光入射到绝对探测器，所述第一测量光入射到光电探测器；

对绝对探测器测得的第二测量光光强和光电探测器测得的第一测量光光强进行计算，建立所述光电探测器和所述绝对探测器的关系，校准所述光电探测器的增益和偏置。

13.根据权利要求12所述的光电探测器校准方法，其特征在于，还包括，水平向控制器控制所述分光棱镜沿水平向移动位于所述光电探测器正上方。

14.根据权利要求12或13所述的光电探测器校准方法，其特征在于，垂向控制器控制所述绝对探测器沿垂向移动位于垂向最佳焦平面上。

15.根据权利要求14所述的光电探测器校准方法，其特征在于，所述垂向最佳焦平面为所述绝对探测器读数最大的位置。

16.根据权利要求12所述的光电探测器校准方法，其特征在于，所述照明光通过光束转换晶体后再入射到所述分光棱镜。

17.根据权利要去16所述的光电探测器校准方法，其特征在于，所述光束转换晶体将深紫外线光转换为可见光。

18.根据权利要求16所述的光电探测器校准方法，其特征在于，所述照明光通过光束转换晶体后，入射到透镜后平行出射到所述分光棱镜。