[发明专利]脆性材料的倒角方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及脆性材料的倒角方法及其装置，更详细而言，关于对板状脆性材料中的边缘部进行倒角的脆性材料的倒角方法及其装置。

背景技术

以往例如液晶显示器用的玻璃基板，将大尺寸的平板玻璃母材切割并切齐成所需尺寸的方形，就此种脆性材料的切割装置而言，例如已知有专利文献1。通过这种切割装置所切割的玻璃板，因其切割面的边缘部产生有微小伤痕等，所以可能有裂缝从这种伤痕处开始延伸。所以，现有技术中提出了在将脆性材料切割成所需形状后，将该脆性材料的切割面的边缘部进行倒角的装置(例如专利文献2～专利文献4)。

专利文献2的倒角装置中，使用研磨机一边供给研磨液一边研磨玻璃基板的端面与其上下边缘部，从而进行边缘部的倒角。

专利文献3的倒角装置中，通过依次向纵剖面成四方形的端面的各边缘部逐边照射激光束，从而使4处的上下边缘部熔化而将其倒角。

并且，专利文献4的倒角装置中，对于玻璃基板的端面从其上下位置施加由电弧放电产生的热能，以使端面中的上下边缘部熔化变圆滑，从而进行倒角。

【先前技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2008-115031号公报

【专利文献2】日本专利第3074145号公报

【专利文献3】日本专利第3823108号公报

【专利文献4】日本特开2009-234856号公报

发明内容

发明需要解决的问题

此外，上述现有倒角装置被指出以下缺点。即，专利文献2的装置中因为一边供给研磨液一边研磨端面及其边缘部，所以必须在研磨工序后设置研磨液及研磨粉的清洗工序以及清洗液的干燥去除工序，进而有生产线冗长化且设备成本增加的问题。

又，专利文献3的装置中，因为依次将激光束照射到处理对象的各边缘部而将其倒角，所以具有处理能力低下的问题，而且具有用于设置激光振荡器等设备的成本庞大的问题。

再者，专利文献4的装置中，电弧放电时的热能高达数千度，但作为处理对象的玻璃一般在700度左右开始熔化。因此，专利文献4中，难以设定利用电弧放电使玻璃处于最佳熔化状态的加工条件。而且还因为电弧放电用的电极消耗极大，所以具有电极更换频率高、设备成本高的问题。

解决问题的方式

鉴于上述问题，本发明的第一技术方案，提供一种脆性材料的倒角方法，对板状脆性材料的端面利用辉光放电产生的热进行加热，使脆性材料端面的边缘部加热、熔化而进行倒角，其特征在于：

在利用壳体包覆作为倒角对象的脆性材料的端面的状态下，使壳体内处于负压并向该壳体内的一对电极施加电压，以使该电极间产生辉光放电而对位于壳体内的脆性材料的端面进行加热，使所述电极与脆性材料沿着所述脆性材料的端面的长度方向进行相对移动，加热、熔化该脆性材料端面的边缘部而予以倒角。

又，本发明的第二技术方案，提供一种脆性材料的倒角装置，其特征在于，包含：壳体，包覆脆性材料的端面；负压室，形成于该壳体内；负压源，将负压导入该负压室；一对电极，配置于所述负压室内；电源，向该一对电极施加电压；以及移动单元，使所述一对电极与脆性材料相对移动；

利用该壳体包覆所述脆性材料的端面，并使作为倒角对象的脆性材料的端面位于负压室内的一对电极之间，在此状态下，使所述壳体的负压室处于负压，并且从所述电源向一对电极施加电压而使电极间产生辉光放电，通过该辉光放电产生的热对脆性材料的端面进行加热，并利用所述移动单元使所述一对电极与脆性材料沿着端面的长度方向相对移动，从而加热、熔化脆性材料端面的边缘部而予以倒角。

发明的效果

依据上述构成，能提供具有比以往更简约的构成，且高处理效率的脆性材料的倒角方法及其装置。

附图说明

图1表示本发明的一实施例的概略俯视图。

图2为，图1的重要部分的右视面。

图3为，沿着图1的III-III线的重要部分放大剖视图。

图4为，图3的重要部分放大图。

图5为，成为图1所示倒角装置的处理对象的脆性材料的立体图。

图6为，图4所示的脆性材料的重要部分纵剖视图，图6(a)表示倒角前，图6(b)表示倒角后。

图7表示图1的重要部分的主视图。

图8为图7的俯视图。