[发明专利]一种传送基板的系统及方法

权利要求书

1.一种传送基板的系统，包括传送基板的传送装置、预真空进样腔、真空传送腔和反应腔，以及预真空进样腔与外界之间的第一闸门、预真空进样腔与真空传送腔之间的第二闸门、真空传送腔与反应腔之间的第三闸门；其特征在于，还包括：控制装置、气压平衡管路、抽气装置、第一气压监测装置和第二气压监测装置；

气压平衡管路，连通所述预真空进样腔和所述真空传送腔，其中，所述气压平衡管路中包括阀门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭；

抽气装置，与所述真空传送腔相连，用于根据所述控制装置的控制将真空传送腔内的气体抽出；

第一气压监测装置，位于预真空进样腔中，用于测量预真空进样腔内的第一气压值，并将测量的预真空进样腔内的第一气压值发送给所述控制装置；

第二气压监测装置，位于真空传送腔中，用于测量真空传送腔内的第二气压值，并将测量的真空传送腔内的第二气压值发送给所述控制装置；

第一闸门、第二闸门和第三闸门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭；

所述控制装置，用于当基板被传送至预真空进样腔内部时，控制所述第一闸门、第二闸门和第三闸门关闭，并控制连通预真空进样腔和真空传送腔的气压平衡管路中的阀门开启，使预真空进样腔内的气体通过所述气压平衡管路流入真空传送腔中；以及用于

获取所述第一气压监测装置监测的所述预真空进样腔内的第一气压值和所述第二气压监测装置监测的真空传送腔内的第二气压值，并当所述第一气压值和所述第二气压值的差值的绝对值小于设定的第一阈值时，控制所述第二闸门开启，并控制所述传送装置将所述基板由预真空进样腔传送至真空传送腔中，当所述基板被传送至真空传送腔内部时控制所述第二闸门关闭；以及用于

控制所述抽气装置将真空传送腔内的气体抽出，当通过所述第二气压监测装置监测到所述真空传送腔内的第二气压值达到设定的真空气压值时，控制所述第三闸门开启，并控制所述传送装置将所述基板由真空传送腔传送至所述反应腔中。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

进气装置，与所述预真空进样腔相连，用于根据所述控制装置的控制将气体送入所述预真空进样腔；

所述控制装置还用于，在所述基板被传送至预真空进样腔内部之前，控制进气装置将气体送入所述预真空进样腔，直至所述预真空进样腔内的气压达到标准大气压为止，控制所述第一闸门开启。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述气压平衡管路包括至少一条低速气压平衡管路，以及至少一条高速气压平衡管路，其中，每条低速气压平衡管路中包括第一阀门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭，每条高速气压平衡管路中包括第二阀门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭；

所述控制装置具体用于，控制至少一条低速气压平衡管路中的第一阀门开启，使预真空进样腔内的气体通过所述至少一条低速气压平衡管路流入真空传送腔中，当监测到所述第一气压值与所述第二气压值的差值的绝对值小于设定的第二阈值时，控制至少一条高速气压平衡管路中的第二阀门开启，使所述预真空进样腔内的气体通过所述至少一条低速气压平衡管路，以及至少一条高速气压平衡管路继续流入所述真空传送腔。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述控制装置还用于，当控制所述抽气装置将所述真空传送腔内的气体抽出时，控制所述进气装置将气体送入所述预真空进样腔，直至预真空进样腔内的气压达到标准大气压为止，控制所述第一闸门开启。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制装置还用于，控制所述抽气装置将所述真空传送腔内的气体抽出之前，控制所述气压平衡管路中的阀门关闭。