[发明专利]一种应用于汽车普通碳钢运动摩擦副表面耐磨涂层

权利要求书

1.一种应用于汽车普通碳钢运动摩擦副表面耐磨涂层，由基体，缓冲层，过渡层，表层组成；其特征在于基体上依次涂敷缓冲层、过渡层和表层；涂层的制备工艺如下：

1）将基体依次在丙酮和乙醇中采用中频脉冲磁控溅射技术进行超声波清洗10-15min，清洗后放入真空室内；

2）制备缓冲层时将真空室抽真空，然后通入氩气，对基材和靶进行等离子清洗；以金属为靶材，在基材表面沉积一金属缓冲层；通入氩气流量50-300sccm，金属靶电流为8-20A，占空比为40-80%，频率为20-160Hz，脉冲偏压50-1600V，占空比50-85%，频率为60-100，沉积时间10-30 min，沉积气压 0.1-1Pa；

3）制备过渡层时向真空室内通入氩气和甲烷，以金属为靶，甲烷为前躯体，在金属表面沉积一碳化物过渡层；其CH₄流量为20-200sccm，沉积时间 10-20min；

4）制备表层时以石墨为靶材，在碳化物层上沉积一类金刚石碳层，其石墨靶电流为10-20A，沉积时间10-30min。

2.根据权利要求1所述的一种应用于汽车普通碳钢运动摩擦副表面耐磨涂层，其特征在于缓冲层是由铬、钼、钛、钨等金属中的一种或2种以上的组合，厚度为0.5-3μm。

3.根据权利要求1所述的一种应用于汽车普通碳钢运动摩擦副表面耐磨涂层，其特征在于过渡层是铬、钼、钛、钨等金属中的一种或2种以上的金属的碳化物组合，厚度为0.6-3μm。

4.根据权利要求1所述的一种应用于汽车普通碳钢运动摩擦副表面耐磨涂层，其特征在于表层是含氢类金刚石碳层，厚度为1-4μm。