[发明专利]一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法

权利要求书

1.一种对步进扫描投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于，将轨迹规划方法同时用于步进运动和扫描运动的步骤如下：

步骤S1：根据步进运动及扫描运动对限制值的定义，针对运动轨迹轮廓利用几何曲线的对称性与图形面积求积分法，依据步进运动和扫描运动给定的约束条件计算步进运动及扫描运动的限制值；

步骤S2：根据运动轨迹轮廓，利用几何曲线的对称性与图形面积求积分法，计算并得到步进运动及扫描运动各自加速度的导数与时间的关系曲线中的关键时间变量；

步骤S3：针对关键时间变量，根据步进运动及扫描运动各自加速度的导数与时间的关系曲线中各时间切换点与关键时间变量的关系，计算得到各时间切换点的值；

步骤S4：根据步进运动及扫描运动典型轮廓中加速度的导数与时间的关系以及时间切换点的值，计算得到步进运动或扫描运动加速度的导数的函数；

步骤S5：对加速度的导数的函数依次求一重、二重和三重积分，进而得到步进运动及扫描运动的加速度、速度和位移随时间变化的曲线。

2.如权利要求1所述的对步进扫描投影光刻机步进运动及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于：所述步进运动或扫描运动加速度的导数的函数表达式是：

j(t)＝j_max×[u(t-t₀)-u(t-t₁)-u(t-t₂)+u(t-t₃)-u(t-t₄)+u(t-t₅)+u(t-t₆)-u(t-t₇)]，

式中j(t)为加速度的导数随时间变化的函数，j_max为最大加速度的导数，u(·)为单位阶跃函数，t₀至t₇为时间切换点代表步进运动的时间切换点t_0X至t_7X或扫描运动的时间切换点t_0Y至t_7Y，t是运动时间代表步进运动的运动时间t_X或扫描运动的运动时间t_Y。

3.如权利要求2所述的对步进扫描投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于：所述一重积分表示如下：

a(t)＝∫j(t)dt，

式中：a(t)为加速度随时间变化的函数代表步进运动的加速度随时间变化的函数a(t_X)或扫描运动加速度随时间变化的函数a(t_Y)，j(t)为加速度的导数随时间变化的函数代表步进运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_X)或扫描运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_Y)。

4.如权利要求2所述的对步进扫描投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于：所述二重积分表示如下：

v(t)＝∫∫j(t)dt，

式中：v(t)为速度随时间变化的函数代表步进运动的速度随时间变化的函数v(t_X)或扫描运动速度随时间变化的函数v(t_Y)，j(t)为加速度的导数随时间变化的函数代表步进运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_X)或扫描运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_Y)。

5.如权利要求2所述的对对步进扫描投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于：所述三重积分表示如下：

s(t)＝∫∫∫j(t)dt，

式中：s(t)为位移随时间变化的函数代表步进运动的位移随时间变化的函数s(t_X)或扫描运动的位移随时间变化的函数s(t_Y)，j(t)为加速度的导数随时间变化的函数代表步进运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_X)或扫描运动加速度的导数随时间变化的函数j(t_Y)。