[发明专利]配向膜干燥系统及干燥方法有效
申请号: | 201110206413.1 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN102566144A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 严茂程 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 欧阳启明 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干燥 系统 方法 | ||
1.一种配向膜干燥系统,用于干燥涂布在一基板上的配向液,其特征在于:所述配向膜干燥系统包括磁控管,所述配向液涂布在所述基板朝向所述磁控管一侧,所述磁控管对所述配向液进行电磁波加热所述配向液形成配向膜。
2.根据权利要求1所述的配向膜干燥系统,其特征在于:所述配向膜干燥系统包括多个磁控管,所述多个磁控管呈蜂窝状排列。
3.根据权利要求1或2所述的配向膜干燥系统,其特征在于:所述配向膜干燥系统还包括一干燥腔体,所述磁控管设置于所述干燥腔体内。
4.根据权利要求3所述的配向膜干燥系统,其特征在于:所述配向膜干燥系统还包括气体流通设备,所述气体流通设备包括进气管和排气管,所述磁控管位于所述基板和所述进气管之间;所述进气管用于向干燥腔体注入气体,从所述进气管流入的气体经由所述磁控管加热后流向所述基板上的配向液,烘干所述配向液;所述排气管将经所述磁控管加热后气体排出。
5.根据权利要求3所述的配向膜干燥系统,其特征在于:
所述配向膜干燥系统还包括温度控制设备,所述温度控制设备包括测温仪和控温器;
所述测温仪用于监测所述干燥腔体内的温度;
所述控温器用于在所述测温仪监测到所述干燥腔体内的温度超过系统设置的阈值时,降低所述干燥腔体内的温度。
6.根据权利要求3所述的配向膜干燥系统,其特征在于:
所述干燥腔体内设置有传送轮;
所述干燥腔体还开设有供所述基板进出所述干燥腔体的入口和出口,所述基板在所述传动轮的带动下,由所述入口进入所述干燥腔体,经由所述磁控管进行电磁波加热后,由所述出口送出所述干燥腔体。
7.根据权利要求3所述的配向膜干燥系统,其特征在于:所述干燥腔体的内壁涂敷有电磁波吸收材料;
所述干燥腔体开设有阀门;
所述阀门设置有封条,用于在所述阀门关闭时,防止所述干燥腔体内的电磁波泄漏。
8.一种配向膜干燥方法,其特征在于,所述配向膜干燥方法包括以下步骤:
将涂布有配向液的基板放入所述干燥腔体内,并关闭所述阀门;
通过磁控管对所述配向液进行电磁波加热;
在所述配向液形成配向膜后,打开所述阀门,取出所述基板。
9.如权利要求8所述的配向膜干燥方法,其特征在于,在通过所述磁控管对配向液进行电磁波加热还包括以下步骤:
通过进气管向所述干燥腔体内注入气体;
从所述进气管流入的气体经由所述磁控管加热后流向配向液,对所述配向液的烘干;
通过排气管将经所述磁控管加热后气体排出。
10.如权利要求8所述的配向膜干燥方法,其特征在于,在通过所述磁控管对配向液进行微波加热还包括以下步骤:
监测所述干燥腔体内的温度;
在监测到所述干燥腔体内的温度超过系统设置的阈值时,降低所述干燥腔体内的温度。
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