[发明专利]一种复合离子源

权利要求书

1.一种复合离子源，其特征在于设有电离室、样品引入导管、样品推斥极、离子引出极片、聚焦极片、出射极片、上栅网、反射镜、下栅网、玻璃窗、聚光镜、光子发射管和灯丝；

电离室为空腔壳体，空腔壳体的壳壁设有左通孔、右通孔、上通孔和下通孔，左通孔与右通孔同轴心线，上通孔与下通孔同轴心线，左通孔与右通孔的轴心线垂直于上通孔与下通孔的轴心线；样品推斥极封盖在电离室的左通孔上，引入导管右端与样品推斥极固连，引入导管与样品推斥极垂直，引入导管露于腔室外；离子引出极片、聚焦极片和出射极片由左向右依次设于电离室右端，离子引出极片、聚焦极片和出射极片均设有中心通孔，离子引出极片、聚焦极片、出射极片、样品推斥极和引入导管为同轴心线；上栅网和反射镜由下向上依次设于电离室上端，上栅网盖在电离室的上通孔上，反射镜固于电离室的上端面；下栅网、玻璃窗、聚光镜和光子发射管由上至下依次设于电离室的下端，下栅网盖在电离室的下通孔上，玻璃窗固于电离室的下端面，聚光镜设于玻璃窗下方，光子发射管设于聚光镜下方，下栅网、玻璃窗、聚光镜和光子发射管为同轴心线；灯丝设于电离室前端，灯丝对准设于电离室壳壁前端的电子束入射口。

2.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述电离室截面外形为方形或圆形。

3.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述灯丝选用钨丝或铼钨丝。

4.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述上栅网和下栅网均为金属丝栅网，金属丝的直径为10～100μm，金属丝栅网的目数为500～3000。

5.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述光子发射管为紫外波段光线产生装置，紫外波段光线产生装置为紫外线灯或激光器。

6.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于聚光镜的焦点在电离室的左通孔与右通孔的轴心线上。

7.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述反射镜为镀膜反射镜。

8.如权利要求1所述的一种复合离子源，其特征在于所述离子引出极片、聚焦极片和出射极片的外形均为片状或圆筒状。