[发明专利]基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动台

权利要求书

1.基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：包 括底座，所述的底座上设有沿X轴向振动的X向电磁振动台，沿Y 轴向振动的Y向电磁振动台，沿Z轴向振动的Z向电磁振动台，和 与三个电磁振动台连接的三维振动平台；每个电磁振动台均通过与各 振动台对应的运动解耦装置与所述的三维振动平台连接；

所述的运动解耦装置包括由刚性材料制成的第一边框和第二边 框，第一边框和第二边框相互扣合，所述的第一边框和第二边框均由 外边、内边、外边与内边之间的第一连接侧边和第二连接侧边组成， 边框的外边与内边相对，边框的内边插入另一个边框内；

所述第一边框的内边中设有气流通道和与所述的气流通道连通 的通气孔，所述的通气孔与外界连通；所述的第一边框的内边与第二 边框的内边和外边之间均有微小间隙，所述的微小间隙形成第一边框 内边的气浮导轨；所述的第二边框的内边与第一边框的外边之间设有 防止所述的第二边框内边与第一边框外边接触的间隔；所述的气流通 道与外部压缩空气源连通；

所述的第一边框的外边与电磁振动台连接，所述的第二边框的外 边与三维振动平台连接。

2.如权利要求1所述的基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动 台，其特征在于：所述的第一边框的内边设有多条气流通道，每条支 流气道上均匀分布多个所述的通气孔。

3.如权利要求2所述的基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动 台，其特征在于：所述的气流通道包括多条平行设置的支流气道和连 通所有的支流气道的干流气道，所述的干流气道与所述的外部压缩空 气源连接，所述的支流气道一端连通干流气道，另一端由密封装置密 封。

4.如权利要求2所述的基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动 台，其特征在于：所述的气流通道一端密封，另一端与所述的外部压 缩空气源连接。

5.如权利要求3或4所述的基于锁扣式解耦装置的三分量标准 振动台，其特征在于：边框为矩形框、圆形框、椭圆框或梯形框。