[发明专利]具有连续背电场层的太阳能电池及其制造方法有效
申请号: | 201110209373.6 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN102891189A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 方婷 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/04;H01L31/18 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 连续 电场 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
1.一种具有连续背电场层的太阳能电池,包含:光电转换单元,该光电转换单元包括具有相反的一个入光面与一个背面的第一导电型基板,以及位于该入光面的第二导电型射极层,其特征在于,该具有连续背电场层的太阳能电池还包含:
呈连续膜状并位于该第一导电型基板的背面的背电场层、至少一个介电层、背电极以及正面电极;所述介电层位于该背电场层的表面,并包括一个朝向该背电场层的第一面、一个相反于该第一面的第二面,以及多个贯穿该第一面及第二面的穿槽;该背电极包括位于该介电层的第二面上的背电极部,以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部;该正面电极位于该光电转换单元的相反于该背电极的一侧。
2.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池,其特征在于,还包含多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
3.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池,其特征在于,该光电转换单元还包括位于该第二导电型射极层上的抗反射层。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的具有连续背电场层的太阳能电池,其特征在于,该第一导电型基板为硅基板,该背电场层的材料为掺杂有价数小于硅的金属材料的硅化合物。
5.根据权利要求4所述的具有连续背电场层的太阳能电池,其特征在于,所述价数小于硅的金属材料为铝、银、铜、锌、镍,或上述的任一组合。
6.根据权利要求1所述的具有连续背电场层的太阳能电池,其特征在于,该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
7.一种具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,包含下列步骤:步骤A:蚀刻第一导电型基板,使其相反的一个入光面与一个背面成为高低起伏状;步骤B:对该第一导电型基板进行热扩散处理,使该入光面形成第二导电型射极层;其特征在于,该具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法还包含下列步骤:
步骤C:在该第一导电型基板的背面披覆一层金属胶;
步骤D:进行热处理,使该金属胶的材料与该第一导电型基板材料产生反应,进而降低该第一导电型基板背面的表面粗糙度,并在该背面及该金属胶之间形成背电场层;
步骤E:移除该金属胶;
步骤F:形成一个电连接该第二导电型射极层的正面电极,以及一个电连接该第一导电型基板的背电极。
8.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,还包含一个介于步骤E及F之间的步骤G:在该背电场层的表面形成具有多个间隔的穿槽的介电层,步骤F是在该介电层的表面披覆一层电极胶,并使该电极胶材料填充于所述穿槽中,再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极,而且还形成多个分别对应该介电层的穿槽位置且位于该第一导电型基板的背面处的背电场结构。
9.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,还包含一个介于步骤E及F之间的步骤G:在该背电场层的表面形成具有多个间隔的穿槽的介电层,步骤F的背电极利用真空镀膜或化学湿式镀膜方式形成,并使该背电极形成位于该介电层表面的背电极部,以及多个自该背电极部分别伸入所述穿槽并电连接该背电场层的导电接触部。
10.根据权利要求9所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,步骤F是在完成步骤E后的样品表面披覆一层电极胶,再通过热处理使该电极胶固化成为该正面电极。
11.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,步骤F是在该背电场层的表面披覆一层电极胶,再通过热处理使该电极胶固化成为该背电极。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,该第一导电型基板为硅基板,该金属胶的材料为价数小于硅的金属材料X,所述X为铝、银、铜、锌、镍,或上述的任一组合,该背电场层的材料为掺杂有X的硅化合物。
13.根据权利要求8或9所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,该介电层利用真空镀膜方式或化学湿式镀膜方式形成,该介电层的材料为氧化物、氮化物、碳化物、硫化物或氟化物。
14.根据权利要求7所述的具有连续背电场层的太阳能电池的制造方法,其特征在于,步骤C的金属胶是利用丝网印刷、喷墨印刷或旋转涂布方式而披覆。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的