[发明专利]一种用于CO2激光器的射频电源无效
| 申请号： | 201110210758.4 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102315582A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 汪盛烈;秦刚;赵学民;王晓东;杨海;王凡;王立慧;张可;唐会华 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 co sub 激光器 射频 电源 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于CO2激光器的射频电源，其特征在于，该射频电源包括正弦波信号源(1)、功率放大器(2)和阻抗匹配器(3)；正弦波信号源(1)与功率放大器(2)的输入端连接，功率放大器(2)的输出端与阻抗匹配器(3)的输入端连接；抗匹配器(3)的输出端与激光器(4)的放电电极连接，并与激光放电气体匹配。
2.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，正弦波信号源(1)包括输出显示装置(5)、输入装置(6)、单片机(7)、正弦波发生器(8)和宽带射频变压器(9)；
输出显示装置(5)和输入装置(6)均与单片机(7)连接，单片机(7)依次通过正弦波发生器(8)、宽带射频变压器(9)和功率放大器(2)连接。
3.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，功率放大器(2)包括串联的MOSFET推挽放大电路(10)和推挽输出变压器(11)。
4.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，阻抗匹配器(3)包括成π型匹配的电容器、电感器和可调电容。
5.根据权利要求2所述的射频电源，其特征在于，正弦波发生器(8)包括串接的DDS芯片和滤波器。
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