[发明专利]一种光刻胶清洗液

权利要求书

1.一种光刻胶清洗液，其特征在于，包含：醇胺、3-氨基-5-巯基-1，2，4-三氮唑以及助溶剂。

2.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量为1-80％；所述3-氨基-5-巯基-1，2，4-三氮唑的含量为0.001-1％；助溶剂的含量为19.999-98.999％；上述含量均为质量百分比含量。

3.如权利要求2所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量为5-70％；所述3-氨基-5-巯基-1，2，4-三氮唑的含量为0.01～0.5％；余量是助溶剂；上述含量均为质量百分比含量。

4.如权利要求3所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量为10-60％；所述3-氨基-5-巯基-1，2，4-三氮唑的含量为0.05～0.3％；余量是助溶剂；上述含量均为质量百分比含量。

5.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述的醇胺为选自单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或几种。

6.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述的助溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一种或多种。

7.如权利要求6所述的清洗液，其特征在于，所述的亚砜为二甲基亚砜；所述的砜为环丁砜；所述的咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺为二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇为丙二醇、二乙二醇；所述的醚为含有羟基的醚。

8.如权利要求7所述的清洗液，其特征在于，所述的醚为乙二醇醚或丙二醇醚。

9.如权利要求8所述的清洗液，其特征在于，所述的乙二醇醚为乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚；所述的丙二醇醚为丙二醇乙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丁醚。