[发明专利]激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置及其方法

权利要求书

1.激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置，其特征在于：高频率短脉冲激光器（1）的输出端布置有电动光闸（2），电动光闸（2）的输出端设置有电动扩束镜（3），电动扩束镜（3）的输出端布置有1/2波片（4），1/2波片（4）的输出端布置有偏振分光镜（5），偏振分光镜（5）的输出端布置有第一半透半反镜（6）和第一45度反射镜片（16），第一半透半反镜（6）的输出端布置有第一聚焦镜（13）和第二45度反射镜片（17），第二45度反射镜片（17）的输出端布置有第二聚焦镜（19），第一45度反射镜片（16）的输出端布置有第二半透半反镜（7），第二半透半反镜（7）的输出端布置有第三聚焦镜（20）和第三45度反射镜片（18），第三45度反射镜片（18）的输出端布置有第四聚焦镜（21），第一聚焦镜（13）、第二聚焦镜（19）、第三聚焦镜（20）和第四聚焦镜（21）的输出端正对于二轴吸附平台（11），所述二轴吸附平台（11）的上方布置有CCD对位观察系统（15），所述二轴吸附平台（11）上安装有一组夹紧气缸（9），所述二轴吸附平台（11）的一侧布置有吹气系统，二轴吸附平台（11）的另一侧安装有集尘系统（12），二轴吸附平台（11）的上表面还分布有支撑球（10）。

2.根据权利要求1所述的激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置，其特征在于：所述第一半透半反镜（6）、第二半透半反镜（7）、第二45度反射镜片（17）、第三45度反射镜片（18）、第一聚焦镜（13）、第二聚焦镜（19）、第三聚焦镜（20）和第四聚焦镜（21）置于光学箱（14）中。

3.利用权利要求1所述装置实现激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的方法，其特征在于：高频率短脉冲激光器（1）发出的激光由电动光闸（2）控制开关光，激光光束经电动光闸（2）后由电动扩束镜（3）对光束进行同轴扩束，改善光束传播的发散角，使光路准直，经电动扩束镜（3）扩束准直后光束到达1/2波片（4），由偏振分光镜（5）调节出两路功率相同的光束，一路光束输入至第一半透半反镜（6），另一路光束输入至第一45度反射镜片（16），所述第一半透半反镜（6）输出两路光束，一路光束经第一聚焦镜（13）聚焦于OLED显示器的阴极材料（8）上，另一路依次经第二45度反射镜片（17）和第二聚焦镜（19）聚焦于OLED显示器的阴极材料（8）上，所述第一45度反射镜片（16）输出光束至第二半透半反镜（7），第二半透半反镜（7）输出两路光束，一路光束经第三聚焦镜（20）聚焦于OLED显示器的阴极材料（8）上，另一路依次经第三45度反射镜片（18）和第四聚焦镜（21）聚焦于OLED显示器的阴极材料（8）上，扫描图形转化为数字信号，图形转化在二轴吸附平台（11）上的OLED显示器的阴极材料（8）上进行刻蚀，OLED显示器的阴极材料（8）通过支撑球（10）支撑并由夹紧气缸（9）夹紧固定，OLED显示器的阴极材料（8）位于同一聚焦平面上，CCD对位观察系统（15）将导入的定位标拍摄并抓取靶标，蚀刻产生的粉尘由吹气系统产生气流，由集尘系统（12）收集粉尘。