[发明专利]一种超高时间分辨固态全光探测器无效
| 申请号： | 201110212598.7 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102322949A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王博;白永林;刘百玉;白晓红;杨文正;秦君军;赵军平;缑永胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超高 时间 分辨 固态 探测器 | ||
1.一种超高时间分辨固态全光探测器，包括磷化铟衬底，其特征在于：所述磷化铟衬底的前表面设置有激活层，激活层远离磷化铟衬底一侧设置有反射率大于90％的全反射层，磷化铟衬底的后表面设置有反射率为45％～60％的半反射层。
2.根据权利要求1所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述的激活层是In1-xGaxAsyP1-y磷砷镓铟激活层，激活层的厚度为3～8μm，其中0.2≤x≤0.4，0.54≤y≤0.73；磷化铟衬底的厚度小于60μm。
3.根据权利要求1或2所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述的全反射层包括至少三层反射膜且层数为奇数，各层反射膜之间按照折射率高、低、高…的周期性结构排列；半反射层包括至少三层反射膜且层数为奇数，各层反射膜之间按照折射率高、低、高…的周期性结构排列；全反射层的反射膜数量大于半反射层的反射膜数量。
4.根据权利要求3所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述各反射膜的厚度为0.3μm～0.4μm。
5.根据权利要求4所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述全反射层、半反射层的高反射率反射膜为五氧化二钽反射膜，低反射率反射膜二氧化硅反射膜。
6.根据权利要求5所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述激活层的厚度为5μm，磷化铟衬底的厚度为0.2μm，反射膜的厚度为0.3875μm。
7.根据权利要求6所述的超高时间分辨固态全光探测器，其特征在于：所述全反射层的层数为7，反射率为97％；半反射层的层数为3，反射率为60％。
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