[发明专利]一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及使用方法

权利要求书

1.一种用于多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于其中包含的组分为：三乙醇胺、聚乙烯吡咯烷酮和余量的水，其中所述水优选为去离子水。

2.根据权利要求1所述的添加剂，其中三乙醇胺与水的体积比为0.1～10∶100，聚乙烯吡咯烷酮与水的重量比为0.001～0.1∶100。

3.一种用于多晶硅片表面处理用的制绒剂，其特征在于其中包含酸性制绒液和权利要求1-2中任意一项所述的添加剂，其中所述酸性制绒液通过将氢氟酸和硝酸溶于去离子水制得，并且酸性制绒液中氢氟酸的重量百分含量为7～14％，硝酸的重量百分含量为30～60％。

4.根据权利要求3所述的制绒剂，其中所述添加剂与酸性制绒液的重量比为0.5～2∶100。

5.一种用于多晶硅表面处理用的制绒剂的配制方法，包括

(1)将氢氟酸和硝酸溶于去离子水中，得到酸性制绒液，其中氢氟酸的重量百分含量为7～14％，硝酸的重量百分含量为30～60％。

(2)将权利要求1-2中的添加剂加入步骤(1)中的酸性制绒液中，得到制绒剂，其中所述添加剂与制绒液的重量比为0.5～2∶100。

6.一种多晶硅制绒方法，其特征在于，将权利要求1-2中任意一项所述的添加剂加入酸性制绒液中，然后将多晶硅浸入到添加有添加剂的制绒液中进行制绒，制绒温度为0～25℃，优选2-10℃，制绒时间为100～400s。

7.根据权利要求6所述的制绒方法，其特征在于所述添加剂与制绒液的重量比为0.5～2∶100。