[发明专利]超声波高精度直线工作台

权利要求书

1.一种超声波高精度直线工作台，包括导轨， 工作台，陶瓷耐磨涂层，底座，地脚，振子底座，预紧弹簧，预紧螺栓，预紧机构，微动滑台和振子，其特征是：底座的下面安有数个地脚，底座上面安装了导轨，在导轨上面有工作台，工作台上面安装了直线微动滑台，在工作台的下面安有一层陶瓷耐磨涂层；振子底座通过底座固定螺母安装在底座上，振子安放在振子底座上，振子的一侧通过足子与工作台接触，振子的另一侧与预紧弹簧接触，预紧弹簧7套装在预紧螺栓上，预紧螺栓通过自锁螺母安装在预紧机构上，预紧机构底座通过固定螺母安装在底座上。

2.根据权利要求1所述的超声波高精度直线工作台，其特征是：所说的振子包括外环套、足子、纵振压电陶瓷、弯振压电陶瓷、振子主轴、螺钉、螺栓、弹簧垫和圆环隔套，振子主轴的中央有一突起，在该突起的两侧依次装有纵振压电陶瓷、圆环隔套、弯振压电陶瓷和外环套，在外环套的外端通过螺钉安有足子，在振子主轴的两端安有螺栓。

3.根据权利要求1所述的超声波高精度直线工作台，其特征是：所说的直线微动滑台，包括积层压电陶瓷，压电陶瓷架，连接螺钉和微动滑台，积层压电陶瓷安装在压电陶瓷架上，压电陶瓷架通过连接螺钉与微动滑台连接。