[发明专利]保持装置及基板断开装置

权利要求书

1.一种保持装置，保持呈立起姿势的平板状工件，其特征在于，包含：

(a)保持单元，对于呈立起姿势的所述工件的外缘部进行接触保持；及

(b)非接触保持单元，设置成与所述保持单元相向，对于由所述保持单元所接触保持的所述工件的主面进行非接触保持；且

所述非接触保持单元包含：

(b-1)安装台，设置成铅垂面与所述保持单元相向；及

(b-2)多个吸引部，各自设置在所述安装台的所述铅垂面上，通过拉近相向的呈立起姿势的所述工件，而以非接触状态保持所述工件。

2.一种基板断开装置，使形成着刻划线的脆性材料基板沿着所述刻划线断开，其特征在于，包含：

(a)保持单元，通过对包含所述脆性材料基板的工件的外缘部进行接触保持，而以立起姿势的状态固定平板状的所述工件；

(b)非接触保持单元，设置成与所述保持单元相向，且对由所述保持单元所接触保持的所述工件的主面进行非接触保持；及

(c)断开单元，沿着所述刻划线，使呈由所述保持单元及所述非接触保持单元保持的状态的所述脆性材料基板断开；且

所述非接触保持单元包含：

(b-1)安装台，设置成铅垂面与所述保持单元相向；

(b-2)多个第1吸引部，各自以沿着所述安装台上所形成的长孔的长度方向两侧的状态，设在所述安装台的铅垂面上，且通过拉近相向的所述工件来以非接触状态保持所述工件；及

(b-3)多个第2吸引部，各自以从两侧夹着多个第1吸引部的状态设置在所述安装台的铅垂面上，且通过拉近相向的所述工件来以非接触状态保持工件；且所述多个第1吸引部配置得比所述第2吸引部更密集，

所述断开单元包含：

(c-1)第1断开棒，沿着所述安装台的所述长孔而在一个方向延伸，并且以经过所述长孔而到达所述保持单元侧的方式进退；及

(c-2)第2断开棒，夹着所述保持单元上所保持的所述脆性材料基板而设置在所述第1断开棒的相反侧，且在与所述第1断开棒平行的方向延伸；

在所述第1及第2断开棒的延伸方向与所述刻划线大致平行的状态下，所述第1及第2断开棒接近于所述脆性材料基板，所述脆性材料基板被所述第1及第2断开棒夹着，这样，使呈立起姿势的所述脆性材料基板沿着所述刻划线断开。

3.根据权利要求2所述的基板断开装置，其特征在于：

所述多个第1吸引部中的邻接的两者之间的第1间隔小于所述多个第2吸引部中的邻接的两者之间的第2间隔。

4.根据权利要求2或者权利要求3所述的基板断开装置，其特征在于：

所述第1及第2吸引部是伯努利吸盘。