[发明专利]一种静电吸附式微质量传感器

权利要求书

1.一种静电吸附式微质量传感器，它主要包括一个一端固定于固定块(5)上的悬臂粱，其特征是：所述悬臂粱是一个平板结构的多层梯形梁(6)，多层梯形梁(6)的主体采用一个导电弹性板(4)，在导电弹性板(4)的上表面设有一层上绝缘薄膜(2)，下表面设有一层下绝缘薄膜(3)，在悬臂粱固定端的上绝缘薄膜(2)上设有一个上压电薄膜(1)；对导电弹性板(4)表面加载均匀的静电荷，或电气连接具有一定电势的直流电源，依靠静电吸附力将微小被测物固定于多层梯形梁(6)悬臂端的测量敏感区域，并通过测量所述微质量传感器在吸附微颗粒前与吸附微颗粒后的谐振频率差Δf，计算得到微颗粒质量m。

2.根据权利要求1所述的一种静电吸附式微质量传感器，其特征是：所述上绝缘薄膜(2)的长度比导电弹性板(4)的长度短，所述下绝缘薄膜(3)全部覆盖导电弹性板(4)的下表面，在导电弹性板(4)的悬臂端未被上绝缘薄膜(2)覆盖的区域构成第一测量敏感区域。

3.根据权利要求1所述的一种静电吸附式微质量传感器，其特征是：所述上绝缘薄膜(2)全部覆盖导电弹性板(4)的上表面，所述下绝缘薄膜(3)全部覆盖导电弹性板(4)的下表面，下绝缘薄膜(3)厚度是上绝缘薄膜(2)厚度的1.5-10.0倍，在导电弹性板(4)的悬臂端未被上压电薄膜(1)覆盖的区域构成第二测量敏感区域。

4.根据权利要求1所述的一种静电吸附式微质量传感器，其特征是：所述上绝缘薄膜(2)的长度比导电弹性板(4)的长度短，所述下绝缘薄膜(3)的长度比导电弹性板(4)的长度短，在悬臂粱固定端的下绝缘薄膜(3)上设有一个下压电薄膜(7)，在导电弹性板(4)的悬臂端未被上绝缘薄膜(2)和下绝缘薄膜(3)覆盖的区域构成第三测量敏感区域。

5.根据权利要求1所述的一种静电吸附式微质量传感器，其特征是：所述固定块(5)采用绝缘材料制作，并在固定块(5)上设有安装固定孔和导线孔，连接导线通过导线孔与导电弹性板(4)、上压电薄膜(1)、下压电薄膜(7)进行电气连接。