[发明专利]脆性材料用划线轮及脆性材料的划线方法及装置、工具

说明书

本申请是申请号为200680024779.4、申请日为2006年7月6日、发明名称为“脆性材料用划线轮及其制造方法和采用脆性材料用划线轮的划线方法及划线装置、划线工具”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及脆性材料用划线轮及其制造方法和采用所述划线轮的脆性材料基板的划线方法及划线装置，该脆性材料用划线轮在压接于脆性材料基板的状态下滚动以在所述脆性材料基板上刻出划线，从而形成从所述划线朝所述脆性材料基板的厚度方向伸展的垂直裂痕。

背景技术

平面显示器(以下称为FPD)使用由配合画面尺寸的大小的脆性材料所构成的基板(以下称为基板)。

例如，作为FPD的一种的液晶显示器用面板是将两片玻璃基板贴合并在其间隙注入液晶而构成显示面板的。此外，在被称为LCOS的投影仪用基板内的反射型基板的情况下，使用将石英基板与半导体晶片贴合而成的一对基板。此种将基板贴合而成的贴合基板，通常是在大尺寸的贴合基板(母基板)的表面上形成划线，接下来通过沿所形成的划线使基板裂断来分割成预定尺寸的单位基板。

需要说明的是，在母基板上形成划线的动作称为“划线动作”。沿着通过划线动作而形成的划线来折断母基板的动作称为“裂断”。通过划线与裂断来分割成所期望尺寸的脆性材料基板的动作称为“割断”。进一步地，经过割断步骤后的搬送将已被割断的脆性材料基板切分成分别独立的单位基板的动作称为“分离”。

此外，在本发明中，将通过形成划线来使垂直裂痕从基板表面朝基板厚度方向伸展的划线轮性质称为“渗透效果”。

图7是公知的划线装置的主视图。

使用图7说明以往的划线方法。此外，以该图左右方向为X方向、以与纸面正交的方向为Y方向，说明如下。

划线装置100具备：以真空吸附机构固定所载置的玻璃基板G且能水平旋转的台28；用以将台28支撑成可在Y方向上移动且彼此平行的一对导轨21、21；使台28沿导轨21、21移动的滚珠螺杆22；沿X方向架设于台28上方的导杆23；在导杆23上设置成能沿X方向滑动且用以对划线轮50施加切断压力的划线头1；使划线头1沿导杆23滑动的电动机24；摆动自如地设在划线头1的下端且通过划线头1进行升降的刀片保持件11；可旋转地安装在刀片保持件11下端的划线轮50；以及一对CCD摄影机25，所述一对CCD摄影机25设于导杆23上方，用以识别在台28上的玻璃基板G上形成的对准标记。

图8及图9是说明玻璃基板等脆性材料基板的割断步骤的图，亦即分别说明在脆性材料基板表面形成划线的步骤、以及沿所形成的划线使脆性材料基板裂断而分割成所期望的尺寸的脆性材料基板的步骤。

根据图8及图9说明基板的割断步骤的两个例子。此外，在以下说明中，以用于液晶显示设备用面板的作为贴合玻璃的玻璃基板G为例，为使说明易于理解，将一侧的玻璃基板暂称为A面基板，将另一侧的玻璃基板暂称为B面基板。

第一例中，(1)、首先，如图8(a)所示，以A面基板为上侧，将玻璃基板G载置于划线装置的划线台上，并使用划线轮50对A面基板进行划线动作来形成划线Sa。

(2)、接下来，使玻璃基板G的上下翻转，将所述玻璃基板G搬送至裂断装置。接着如图8(b)所示，利用该裂断装置，使裂断杆3沿与划线Sa相对的线对载置于垫板4上的玻璃基板G的B面基板进行按压。以此，下侧的A面基板的裂痕从划线Sa向上方伸展，从而A面基板沿划线Sa被分割。

(3)、然后，将玻璃基板G搬送至划线装置的划线台上。进而，利用该划线装置，如图8(c)所示那样用划线轮50对B面基板进行划线动作来形成划线Sb。

(4)、接下来，使玻璃基板G的上下翻转并搬送至裂断装置。进而，如图8(d)所示，利用裂断杆3沿与划线Sb相对的线对载置于垫板4上的所述玻璃基板G的A面基板进行按压。以此，下侧的B面基板的裂痕从划线Sb向上方伸展，从而B面基板沿划线Sb被分割。

本发明将上述步骤所构成的割断方式称为SBSB方式(S代表划线，B代表裂断)。

此外，在第二例中，(1)、首先，如图9(a)所示，以A面基板为上侧，将玻璃基板G载置于划线装置的划线台上，并使用划线轮50对A面基板进行划线动作来形成划线Sa。

(2)、接下来，使玻璃基板G的上下翻转，将所述玻璃基板G载置于划线台上，并使用划线轮50对B面玻璃基板进行划线动作来形成划线Sb(图9(b))。