[发明专利]一种基板及其制备方法和系统

权利要求书

1.一种基板制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

制备PZT晶体粉末；

将PVDF溶于有机溶剂形成溶液并将所述PZT晶体粉末混合于所述溶液制成混合液，并超声分散所述混合液；使用所述混合液制备基板。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述使用混合液制备基板的步骤之后，所述方法还包括以下步骤：

在硅油中高温加热极化所述基板。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备PZT晶体粉末的步骤具体为：

将二氧化铅、锆酸铅、钛酸铅充分研磨并混合均匀成粉末；

将所述粉末分散于有机溶剂并搅拌均匀成分散液；

在高温下烧结所述分散液形成PZT晶体；

将所述PZT晶体充分研磨成PZT晶体粉末。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述PZT晶体粉末具有多孔结构。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合液通过超声分散，均匀混合所述PZT晶体粉末和PVDF。

6.一种基板制备系统，其特征在于，所述制备系统包括：

PZT晶体粉末制备单元，用于制备多孔PZT晶体粉末；

基板原料制备单元，用于制备所述PZT晶体粉末制备单元制备的PZT晶体粉末与PVDF的混合液；

基板制备单元，用于根据所述基板原料制备单元制备的原料制备基板。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

基板极化单元，用于在硅油中高温加热极化所述基板制备单元制备的基板。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述PZT晶体粉末制备单元具体包括：

粉末制备模块，用于将二氧化铅、锆酸铅、钛酸铅充分研磨并混合均匀后制成粉末；

分散液制备模块，用于将所述粉末制备模块制备的粉末分散于有机溶剂，制成分散液；

PZT晶体烧结模块，用于将所述分散液制备模块制备的分散液在高温下烧结成PZT晶体；

PZT晶体研磨模块，用于将所述PZT烧结模块烧结的PZT晶体研磨成PZT晶体粉末。

9.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述基板原料制备单元具体包括：

混合液制备单元，用于将PVDF溶于有机溶剂形成溶液，并将所述PZT晶体粉末制备单元制备的PZT晶体粉末混合于所述溶液制成混合液；

超声分散单元，用于超声分散所述混合液制备单元制备的混合液。

10.一种如权利要求1所述方法制备的基板。