[发明专利]提高7350光刻胶热稳定性的方法

权利要求书

1.一种提高7350光刻胶热稳定性的方法，其特征是，所述方法包括如下步骤：

（a）、第一次UV坚膜：将带有7350光刻胶的圆片放置于坚膜设备内坚膜，所述7350光刻胶上刻蚀出相应的图案；坚膜起始温度为100℃~110℃；起始温度保持时间为80~90秒，然后在47~53秒时间内使坚膜设备内圆片及7350光刻胶的温度升至123℃~137℃；

（b）、取片：将圆片移出坚膜设备，并使圆片的温度降至常温状态；

（c）、第二次UV坚膜：将上述圆片再次放置于坚膜设备内坚膜，坚膜起始温度为114℃~126℃，其实温度保持时间为44~50秒；然后在95~105秒内使坚膜设备内圆片及7350光刻胶的温度升至190℃~210℃；

（d）、取片：将上述圆片移出坚膜设备。

2.根据权利要求1所述提高7350光刻胶热稳定性的方法，其特征是：将上述得到的圆片及位于圆片上的7350光刻胶放置于ECR金属腐蚀设备上，通过7350光刻胶的掩膜作用，刻蚀出圆片上的金属层。