[发明专利]微影过程中临界尺寸的测试标记

权利要求书

1.一种微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，包括：

第一标记棒、第二标记棒、第三标记棒、第四标记棒，所述第一、第二、第三、第四标记棒依次连接形成一矩形方框，所述第一、第二、第三、第四标记棒用于测试独立线临界尺寸；

形成于所述方框内且依次设置的第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒包括相互垂直的第一边和第二边，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒的第一边与所述第一标记棒平行，所述第二、第四、第六测试棒的第一边包括第一部分和第二部分，所述第一、第三、第五、第七测试棒的第一边与所述第二、第四、第六测试棒的第一边的第一部分形成密集线测试棒，用于测试密集线或者密集间隙的临界尺寸，所述第二、第四、第六测试棒的第一边的第二部分形成半密集线测试棒，用于测试半密集线或者半密集间隙的临界尺寸，所述第四测试棒的第一边的末端邻近所述第二标记棒，用于测试图案的线端或者间隙端。

2.如权利要求1所述的微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒呈“L”形。

3.如权利要求1所述的微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，所述第二、第四、第六测试棒的第二边包括第一部分和第二部分，所述第一、第三、第五、第七测试棒的第二边与所述第二、第四、第六测试棒的第二边的第一部分形成密集线测试棒，用于测试密集线或者密集间隙的临界尺寸，所述第二、第四、第六测试棒的第二边的第二部分形成半密集线测试棒，用于测试半密集线或者半密集间隙的临界尺寸，所述第四测试棒的第二边的末端邻近所述第三标记棒。

4.如权利要求1所述的微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，所述方框内还包括一矩形标记区、与所述矩形标记区的两相邻边相配合的“L”形标记区，所述矩形标记区和所述“L”形标记区之间形成一间隙，用于测量独立间隙的临界尺寸。

5.如权利要求1所述的微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，所述第一标记棒、第二标记棒、第三标记棒、第四标记棒的长度相等。

6.一种微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，包括：

第一标记棒、第二标记棒、第三标记棒、第四标记棒，所述第一、第二、第三、第四标记棒依次连接形成一矩形方框，所述第一、第二、第三、第四标记棒用于测试独立线临界尺寸；

形成于所述方框内的第一、第二、第三组测试棒，所述第一、第二、第三组测试棒与所述第一标记棒平行，所述第二、第三组测试棒包括第一部分和第二部分，所述第一组测试棒与所述第二、第三组测试棒的第一部分形成密集线测试棒，用于测试密集线或者密集间隙的临界尺寸，所述第二、第三组测试棒的第二部分形成半密集线测试棒，用于测试半密集线或者半密集间隙的临界尺寸，所述第三组测试棒的末端邻近所述第二标记棒，用于测试图案的线端或者间隙端。

7.如权利要求6所述的微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，所述方框内还包括一矩形标记区、与所述矩形标记区的两相邻边相配合的“L”形标记区，所述矩形标记区和所述“L”形标记区之间形成一间隙，用于测量独立间隙的临界尺寸。