[发明专利]合成石英玻璃衬底及其制备方法

权利要求书

1.一种合成石英玻璃衬底，具有6平方英寸的主表面，该主表面包括148mm²的中央表面区域，该148mm²的中央表面区域包括132mm²的中央表面区域，从132mm²中央表面区域周边延伸至主表面周边的表面区域是倾斜的，其中132mm²的中央表面区域具有最多50nm的平整度，

除132mm²中央表面区域外的148mm²中央表面区域的框架区域具有最多150nm的平整度。

2.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，其中132mm²的中央表面区域具有平均的平面，框架区域具有平均的平面，132mm²中央表面区域的平均的平面比框架区域的平均的平面高100nm或更少。

3.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，其中当玻璃衬底通过在从主表面周边向内延伸2mm至5mm的3mm区域处抽吸卡紧而安装在步进机上时，142mm²中央表面区域表现出最多50nm的平整度。

4.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，在6平方英寸的区域上具有最多0.10nm的表面粗糙度(RMS)。

5.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，其在6平方英寸的区域上没有突起缺陷、凹进缺陷和条纹瑕疵。

6.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，其掺杂有TiO₂。

7.如权利要求1的合成石英玻璃衬底，其用来形成光掩模。

8.一种制备权利要求1的合成石英玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

将合成石英玻璃衬底的表面粗抛光，

测量经抛光的衬底表面的平整度，

按照测量的平整度将衬底表面部分抛光，和

将经部分抛光的衬底表面精抛光。