[发明专利]一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置

权利要求书

1.一种用于光刻投影物镜安装的调平装置，包括微调机构，其特征在于还包括粗调机构；微调机构在上部，粗调机构在下部，整个微调机构通过粗调机构中基座(32)上的固定基板螺纹孔(47)，用固定螺钉(24)与粗调机构固连。

2.按权利要求1所述的一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置，其特征在于粗调机构包括：固定螺钉(25)、镜头挡板(26)、三个粗调支腿(27)、三个粗调支腿安装孔(28)、三个微调机构限位柱(29)、两个辅助支腿(30)、两个辅助支腿安装孔(31)和基座(32)；其中粗调支腿(27)包括粗调螺柱(48)、粗调螺母(49)和粗调螺柱座(50)；辅助支腿(30)包括辅助支腿螺柱(51)、辅助支腿螺母(52)、辅助支腿紧固螺母(53)、辅助支腿螺母法兰(54)、辅助支腿螺柱手轮(55)、辅助支腿座(56)和辅助支腿座固定螺钉(57)；在粗调机构中基座(32)上有三个成等腰三角形分布的粗调支腿安装孔(28)，其中底边上的两个粗调支腿安装孔(28)在投影物镜安装孔(46)开口方向的一侧，镜头挡板(26)从投影物镜安装孔(46)的开口安装进去，落在开口的台肩上，用挡板固定螺钉(25)与基座(32)固连；粗调支腿(27)中的粗调螺柱(48)和粗调螺柱座(50)是一体件，粗调螺母(49)和粗调螺柱(48)之间是螺纹配合，粗调支腿(27)通过粗调螺柱(48)和粗调支腿安装孔(28)安装在基座(32)下面，粗调螺柱(48)与粗调支腿安装孔(28)之间是滑动接触；辅助支腿(30)中的辅助支腿螺柱(51)和辅助支腿手轮(55)是一体件，辅助支腿螺母(52)与辅助支腿螺柱(51)之间是螺纹配合，辅助支腿螺母(52)与辅助支腿螺母法兰(54)是一体件，辅助支腿紧固螺母(53)与辅助支腿螺母(52)之间是螺纹配合，辅助支腿座(56)通过辅助支腿座固定螺钉(57)固定在辅助支腿螺柱(51)的下端，辅助支腿(30)从基座(32)的下面通过辅助支腿安装孔(31)安装在基座(32)上，辅助支腿安装孔(31)套装在辅助支腿螺母(52)上，与辅助支腿螺母(52)之间是滑动接触，辅助支腿紧固螺母(53)在基座(32)的上面与辅助支腿螺母(52)配合，将辅助支腿(30)紧固在基座(32)上。通过旋转辅助支腿螺柱手轮(55)来实现辅助支腿(30)的升降；投影物镜安装孔(46)开口一侧两边的粗调支腿(27)和两个辅助支腿(30)的连线构成一个矩形，并且投影物镜安装孔(46)的中心与该矩形的形心重合。