[发明专利]检测装置和放射线检测系统

权利要求书

1.一种检测装置，包括：

多个像素，所述多个像素在绝缘衬底上按行方向和列方向布置，每个像素包括转换元件和开关元件，所述转换元件被配置为将放射线或光转换为电荷，所述开关元件设置在所述绝缘衬底上，并被配置为输出与所述电荷对应的电信号，所述转换元件设置在所述开关元件之上；

驱动线，所述驱动线设置在所述转换元件之下，并连接至按行方向布置的开关元件中的每一个；和

信号线，所述信号线连接至按列方向布置的开关元件中的每一个，

其中，所述信号线包括嵌入在绝缘部件中的导电层，所述绝缘部件设置在比所述驱动线的最上表面部分低的层中。

2.根据权利要求1所述的检测装置，还包括设置在所述转换元件与所述开关元件之间的多个绝缘层，其中

所述绝缘部件包括作为所述多个绝缘层之一并且位置比用作驱动线的导电层的最上表面部分低的绝缘层，所述用作驱动线的导电层位于所述转换元件之下。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其中

所述开关元件包括设置在所述绝缘衬底上的第一导电层、设置在第一导电层上的第一绝缘层、设置在第一绝缘层上的第一半导体层、设置在第一半导体层上的第一杂质半导体层和设置在第一杂质半导体层上的第二导电层，

所述信号线包括第三导电层，第三导电层嵌入在第二绝缘层和第三绝缘层中，并连接至所述开关元件，其中，第二绝缘层设置在所述开关元件上，第三绝缘层设置在第二绝缘层上，

所述驱动线包括嵌入在第五绝缘层中的第五导电层，第五绝缘层形成在第四绝缘层上，第五导电层通过第三导电层和第四导电层连接至所述开关元件，第四导电层嵌入在第四绝缘层中，第四绝缘层设置在第三绝缘层上，以及

所述转换元件包括第七导电层，第七导电层用作通过第五绝缘层上的第六绝缘层设置的下电极，并且通过第三导电层、第四导电层和第五导电层连接至所述开关元件。

4.根据权利要求2所述的检测装置，其中

每个像素还包括用以对转换元件进行初始化的初始化开关元件，

并且其中所述检测装置还包括：

初始化驱动线，所述初始化驱动线连接至按行方向布置的多个初始化开关元件，和

初始化偏压线，所述初始化偏压线连接至按列方向布置的多个初始化开关元件。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其中

所述开关元件包括设置在所述绝缘衬底上的第一绝缘层、设置在第一绝缘层上的第一半导体层、设置在第一绝缘层上的第二绝缘层、设置在第二绝缘层上的第一导电层、设置在第一导电层上的第三绝缘层和设置在第三绝缘层上的第二导电层，

所述信号线包括第三导电层，第三导电层嵌入在第四绝缘层上的第五绝缘层中，第四绝缘层设置在所述开关元件上，和

所述驱动线包括第五导电层，第五导电层嵌入在设置于第六绝缘层上的第七绝缘层中，并通过第三导电层和第四导电层连接至所述开关元件，第四导电层嵌入在设置于第五绝缘层上的第六绝缘层中。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其中

第五导电层还被嵌入在第八绝缘层中，第八绝缘层设置在第七绝缘层上，以及

所述转换元件包括第六导电层，第六导电层用作通过第八绝缘层上的第九绝缘层设置的下电极，并且通过第三导电层、第四导电层和第五导电层连接至所述开关元件。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其中

所述初始化偏压线包括第三导电层，以及

所述初始化驱动线包括第五导电层，第五导电层通过第三导电层和第四导电层连接至所述开关元件。