[发明专利]空气净化装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种空气净化装置，尤指一种于一筒体内部分隔出数个净化室，且于各净化室填充有净化材，而于该筒体内部形成有连通该进气口、各净化室及该出气口的气流通道，以利用单一结构体将待净化气体进行连续性净化程序的设计。

背景技术

半导体晶圆制造厂及TFT-LCD面板或太阳能光电制造业制程中，在湿蚀刻制程会使用到无机酸(硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸)及有机酸(如醋酸)等酸液，而在干蚀刻制程或洗净程序会使用到大量的氟化合物(如PFC：NF₃、SF₆、CF₄、C₂F₆)，经净化设备分解处理后衍生无机酸(硝酸、氢氟酸)；其中，有机酸及无机酸的比例配置不尽相同，主要的蚀刻作用由无机酸进行，加入有机酸(如醋酸)主要是使无机酸更稳定，提高蚀刻的良率，然而却造成大量的毒性气体、臭气、白烟、NO₂黄烟或厌恶性异味排放。

再者，悬浮微粒(Suspended particulate)泛指在气流中悬浮的固态或液态粒子，在提及一般空气质量时多以此为评估项目，在测量时则以高量采样器作水平向过滤采气测定。而悬浮微粒因不同粒径的颗粒进入人体呼吸系统的能力差异极大，且一般医学界认为10微米以下的颗粒方可进入人体呼吸道，其中又以2.5微米以下的颗粒对呼吸系统的危害最为强烈。目前一般环保单位对于空气悬浮微粒的污染程度多改用「粒径小于等于10微米的悬浮微粒(Particulate matter≤10μm，简称PM10)」，在公卫界则多采用「粒径小于等于2.5微米的悬浮微粒(Particulate matter≤2.5μm，简称PM2.5)」以评估污染对健康的影响。此2.5微米以下的微粒因此又被称为「可呼吸性悬浮粒子(Respirable suspended particle)」。

然而，以传统冷凝法及吸收法目前最常采用的净化设备(诸如以抽风与简易滤网或一般吸附或水洗洗涤处理)，并无法完全去除上述存在于空气中的悬浮微粒及酸性气体(硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、氨、NO₂；尤其是氢氟酸、NO₂)等难处理的分子污染物，而且该等悬浮粒子若为人体吸入将引发身体健康的安危；同时该等酸性气体于低浓度下即会产生恶臭，并易于排放管道产生次微米微粒的白烟或/及黄烟现象，极易影响厂房周围生活环境而引发民众抗议，同时也影响到厂房周围其它高科技厂高阶制程的产品良率。再者，尚有运用触媒滤材来净化处理空气中含硫化合物、硝酸及醋酸等物质气体的方法，该触媒滤材净化气体的优点为含硫化合物、硝酸及醋酸等物质气体的脱除效率高、反应温度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是一种环境友好的催化净化技术。

发明内容

本发明所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种空气净化装置，其具有设备体积小的功效，且具有利用线上再生而提升净化效率的功效。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种空气净化装置，是于一筒体内部分隔出数个净化室，且于各该净化室填充有净化材，并于该筒体形成有进气口与出气口，而于该筒体内部形成有连通该进气口、各该净化室及该出气口的气流通道；借此，待净化气体由该进气口导入，进而利用填充于不同净化室的净化材进行连续性的净化，并由该出气口将净化后气体导出。

其一，该筒体内部横贯设置一多孔板，并于该多孔板上方顶天设置一纵隔板，遂于该纵隔板两侧分隔出第一净化室与第二净化室，而于该多孔板底侧分隔出连通该第一净化室底侧与该第二净化室底侧的通道室，并令该进气口的形成位置对应于该第一净化室顶侧，该出气口的形成位置对应于该第二净化室顶侧，进而于该筒体内部形成有连通该进气口、该第一净化室顶侧、该第一净化室底侧、该通道室、该第二净化室底侧、该第二净化室顶侧及该出气口的气流通道。