[发明专利]谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉

说明书

技术领域：

本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉。

背景技术：

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

现有的单晶炉都会用到传动装置，在硅单晶拉制过程中，传动装置提供坩埚轴升降、籽晶绳升降高低速切换功能，便于单晶硅晶体的结晶。

然而，现有的传动装置都是利用机械式的结构实现的、或者纯电磁式的机构，这些现有的传动装置容易存在执行动作的准确性差、灵敏度不高、结构复杂，在工作过程中易造成晶棒的精度不良现象。

发明内容：

有鉴于此，有必要提供一种执行动作的准确、灵敏且结构简单的谐波差速传动装置。

还有必要提供一种采用谐波差速传动装置的单晶炉。

一种谐波差速传动装置，包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达；传动轴前端通过轴承、小隔圈配合在左壳体上，传动轴后端与谐波减速器连接，传动轴后端设置有轴承收容部，通过轴承与输入轴配合。端盖固定在左壳体上，小隔圈安装在端盖与左壳体之间，如此通过端盖、小隔圈来调节传动轴与左壳体的配合间隙。谐波减速器通过轴承、挡片、大隔圈与左壳体、右壳体配合。大齿轮通过键与安装在右壳体上的大马达连接，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接，大齿轮与右壳体通过轴承配合。输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合。

一种采用谐波差速传动装置的单晶炉，包括谐波差速传动装置、坩埚机构及籽晶机构。谐波差速传动装置包括传动轴、端盖、左壳体、小隔圈、中壳体、大齿轮、右壳体、谐波减速器、挡片、大隔圈、连接座、小马达、输入轴、大马达；传动轴的前端通过端盖、轴承、小隔圈配合在左壳体上，传动轴的前端还与坩埚机构及籽晶机构连接，以使坩埚机构、籽晶机构中的坩埚轴及籽晶绳实现高速、低速上升、下降操作。传动轴的后端与谐波减速器连接，传动轴后端设置有轴承收容部，通过轴承与输入轴配合。端盖固定在左壳体上，小隔圈安装在端盖与左壳体之间，如此通过端盖、小隔圈来调节传动轴与左壳体的配合间隙。谐波减速器通过挡片、大隔圈、轴承与左壳体、右壳体配合。大齿轮通过键与安装在右壳体上的大马达连接，且大齿轮的轮齿与谐波减速器啮合连接，大齿轮与右壳体通过轴承配合。输入轴的后端与固定在连接座上的小马达连接，输入轴的后端还与连接座通过轴承配合，输入轴中端与谐波减速器通过键配合，输入轴前端与传动轴通过轴承配合。

本发明提供的谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉中，该谐波差速传动装置采用结构简单的双马达结构提供高精度、高可靠性的高、低速动力给单晶炉内的坩埚轴及籽晶绳，以使坩埚机构、籽晶机构中的坩埚轴及籽晶绳实现高速、低速上升、下降操作，进而减少晶棒的精度不良现象。

附图说明：

附图1是一较佳实施方式的谐波差速传动装置的结构示意图。

图中：谐波差速传动装置200、传动轴201、端盖202、左壳体203、小隔圈204、中壳体205、大齿轮206、右壳体207、谐波减速器208、挡片209、大隔圈210、连接座211、小马达212、输入轴213、大马达214、轴承215、轴承216、轴承217、轴承218、轴承219

具体实施方式：

本发明在单晶炉内设置谐波差速传动装置，该谐波差速传动装置采用双马达结构，提供高、低速动力给单晶炉内的坩埚机构、籽晶机构，以使坩埚机构、籽晶机构中的坩埚轴及籽晶绳实现高速、低速上升、下降操作。

如图1所示的谐波差速传动装置200的结构示意图，谐波差速传动装置200包括传动轴201、端盖202、左壳体203、小隔圈204、中壳体205、大齿轮206、右壳体207、谐波减速器208、挡片209、大隔圈210、连接座211、小马达212、输入轴213、大马达214、轴承215、轴承216、轴承217、轴承218、轴承219。