[发明专利]一种新型超大粒径高浓度硅溶胶的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110220444.2 申请日: 2011-08-03
公开(公告)号: CN102417185A 公开(公告)日: 2012-04-18
发明(设计)人: 刘锡林;刘振华;关飞飞;马超 申请(专利权)人: 南通海迅天恒纳米科技有限公司
主分类号: C01B33/14 分类号: C01B33/14;C09K3/14
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢霞
地址: 226600 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 超大 粒径 浓度 硅溶胶 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及抛光液磨料,具体地说,涉及一种新型超大粒径高浓度硅溶胶的制备方法,属于化工技术领域。

背景技术

硅溶胶,又称硅酸水溶胶或二氧化硅水溶胶,已广泛应用于精密铸造、催化剂载体、涂料、造纸和纺织等行业。由于硅溶胶耐水性好,耐高温性强,又具有透气性、分散性、抗滑性和无污染性等特点,故其在各个领域中的应用都具有特殊的重要地位。目前工业上成熟的制备方法是离子交换法和单质硅溶解法。但产品多是小粒径的硅溶胶, 且保存时间短, 在品种、质量方面不及发达国家, 特别是在高浓度、大粒径硅溶胶和快干增强硅溶胶的生产和应用上才刚刚起步。离子交换法为国内普遍采用的方法,但其工艺程序较多,能源消耗较大。单质硅溶解法是近年来兴起的,工艺简便,成本较低,产品质量较好。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有产品存在的缺点,提供一种超大粒径新型高浓度硅溶胶的制备方法。

本发明的新型超大粒径高浓度硅溶胶的制备方法,原料选用硅粉、氢氧化钠、硝酸铈铵以及纯水,所说的硅粉、氢氧化钠与硝酸铈铵的重量比为200:3:1.5,将硅粉制成活化硅粉;将氢氧化钠制成氢氧化钠催化剂;将硝酸铈铵制成硝酸铈铵水溶液;在80℃下依次加入活化硅粉、氢氧化钠催化剂及硝酸铈铵水溶液,反应30min;此后每30min加一次活化硅粉、氢氧化钠催化剂及硝酸铈铵水溶液,活化硅粉及硝酸铈铵溶液加完为止,氢氧化钠催化剂在活化硅粉及硝酸铈铵溶液加完后就不需加,总反应时间为30h。

优选地,

所说的活化硅粉是将硅粉放入到纯水中,在60℃下活化30min制成,所说的硅粉与纯水的重量比为1:2。

所说的催化剂为氢氧化钠溶液,氢氧化钠溶液的浓度为2%。

所说的硝酸铈铵水溶液是将硝酸铈铵加入到纯水中制成的,硝酸铈铵水溶液浓度为2.5%。

本发明的制备方法具有如下技术效果:

1)采用单质硅水解法制备新型超大粒径硅溶胶,其可用于CMP抛光液的磨料,粒径超过150nm,浓度超过45%,提高了硅溶胶的浓度,并且稳定性能好;

2)反应时间短只需30小时,节省了反应时间;

3)在制备过程中进行铈掺杂,提高抛光速率达15%左右,有效提高了CMP抛光液的抛光速率,减少抛光后的表面划伤,抛光后的表面粗糙度。

具体实施方式

实施例1

本实施例的制备方法中,原料选用硅粉、氢氧化钠、硝酸铈铵以及纯水,所说的硅粉、氢氧化钠与硝酸铈铵的重量比为200:3:1.5,将硅粉制成活化硅粉;将氢氧化钠制成氢氧化钠催化剂;将硝酸铈铵制成硝酸铈铵水溶液。

包括下列步骤:

1)取200g硅粉放入到400g纯水中,在60℃下活化30min制成活化硅粉;

2)取一定量的氢氧化钠制备浓度为2%的氢氧化钠溶液作为催化剂;取硝酸铈铵1.5g加入到58.5g纯水中制备60g的硝酸铈铵水溶液;

3)取450g水加入到烧瓶中升温,保持水浴锅的温度为80℃不变,待水温升到80℃后向烧瓶中加入50g活化硅粉、5g氢氧化钠催化剂及2g硝酸铈铵水溶液,反应30min;

4)此后每30min加一次30g活化硅粉、5g氢氧化钠催化剂及2g硝酸铈铵水溶液,活化硅粉及硝酸铈铵溶液加完为止,氢氧化钠催化剂在活化硅粉及硝酸铈铵溶液加完后就不需加了,加入氢氧化钠催化剂的总量为150g,总反应时间为30h。

经检测,反应后的硅溶胶PH值为9-10,比重为1.34左右,粒径为150nm以上。

以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

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