[发明专利]一种用于蓝宝石晶片的抛光组合物

权利要求书

1.一种用于蓝宝石晶片的抛光组合物，包含磨料和水，其特征在于：还 包含抛光促进剂、螯合剂和抛光稳定剂，其中，按重量百分含量，抛光促进剂 为0.05～10％，螯合剂为0.1～10％，抛光稳定剂为0.01～10％。

2.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：抛光促进剂的重量 百分含量为0.2～6％，螯合剂的重量百分含量为0.2～6％，抛光稳定剂的重量百 分含量为0.2～6％。

3.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：所述磨料为氧化硅、 氧化铝、氧化铈或氧化锆中的一种或几种，其中，氧化硅的平均粒径为10-200 纳米。

4.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：磨料的重量百分含 量为1～60％。

5.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：所述抛光促进剂为 盐类，所述的盐类为氯化盐、硫酸盐、硝酸盐、硼酸盐、硅酸盐、磷酸盐、乳 酸盐、苹果酸盐、柠檬酸盐、酒石酸盐、乙醇酸盐、α-羟基异丁酸盐、甘油酸盐、 葡糖酸盐或水杨酸盐中的一种或几种。

6.根据权利要求5所述的抛光组合物，其特征在于：所述盐类为钾盐。

7.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：所述螯合剂为乙二 胺四乙酸盐、丙二胺四乙酸盐、二乙基三胺五乙酸盐、三乙基四胺六乙酸盐、 1，2-环己二胺四乙酸盐、氨基三亚甲基膦酸盐、羟基亚乙基二膦酸盐、乙二胺四 亚甲基膦酸盐、乙二胺四亚乙基膦酸盐、二乙烯三胺五亚甲基膦酸盐、二乙烯 三胺五亚乙基膦酸盐、三乙烯四胺六亚乙基膦酸盐、丙二胺四亚乙基膦酸盐、 丙二胺四亚甲基膦酸盐、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸盐、羟基亚乙基二膦酸盐、 2-羟基膦酸基乙酸盐、己二胺四亚甲基膦酸盐、双1，6-亚己基三胺五亚甲基膦 酸盐或多氨基多醚基亚甲基膦酸盐中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：所述抛光稳定剂为 氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸铵、碳酸氢铵、碳酸氢钾、碳酸钾、碳酸氢钠、碳 酸钠、氨水、四甲基氢氧化铵、甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、乙基胺、二乙 基胺、三乙基胺、无水哌嗪、六水哌嗪、四乙基胺、异丙醇胺、氨基丙醇、乙 醇胺、三乙醇胺、乙二胺、羟乙基乙二胺、六亚甲基二胺、二亚乙基三胺、三 亚乙基四胺或四亚乙基五胺中的一种或几种。

9.根据权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于：所述抛光组合物的 pH值为8～12。

10.权利要求1至9任意一个权利要求所述的抛光组合物用于蓝宝石晶片 的循环抛光。