[发明专利]LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法

权利要求书

1.一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，其特征在于，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括：

一输送带；

一组可于该晶圆承载装置及输送带位置之间作动的汲取装置，用于搬运LED晶粒载具；

至少一个扫描装置，设置于该输送带的任一侧，该输送带使该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存；以及

一个以上的LED晶粒点测装置，设置于该输送带的任一侧上，以使该LED晶粒载具经过坐标扫描后，由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。

2.如权利要求1所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，其特征在于，该LED晶粒载具上具有三个识别标记，由该扫描装置对该LED晶粒载具的识别标记进行坐标扫描与储存，作为点测前对位之用。

3.如权利要求1所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，具有一与该输送带及该LED晶粒点测装置相连接的控制单元，该控制单元用于控制该LED晶粒载具送入任一LED晶粒点测装置。

4.如权利要求3所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，其特征在于，该LED晶粒点测装置内具有至少一个空片检测元件，用以判断该LED晶粒点测装置内是否已载入LED晶粒载具，并将判断讯号回传至该控制单元。

5.如权利要求1所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，其特征在于，该输送带包含有至少一组横向移动轨道及至少一组纵向移动轨道，以使该输送带所搬运的LED晶粒载具能够进行横向或是纵向移动。

6.如权利要求1所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，其特征在于，该晶圆承载装置为能够承载LED晶粒载具的容器。

7.一种LED晶粒扫瞄与点测的运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，其特征在于，其步骤为：

(1)由汲取装置将晶圆承载装置上的一LED晶粒载具移动至输送带上；

(2)该输送带将该LED晶粒载具运送至该扫描装置中，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，并汇出一组对应该LED晶粒载具上晶粒位置的坐标讯息；以及

(3)将LED晶粒载具移出该扫描装置，由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，并将该组对应该LED晶粒载具上晶粒位置的坐标讯息汇入该LED晶粒点测装置，藉以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。

8.如权利要求7所述LED晶粒扫瞄与点测的运作方法，其特征在于，该LED晶粒载具移动至输送带之前，会将LED晶粒载具的一识别标记进行坐标扫描与储存，以做为进入任一LED晶粒点测装置对位之用。

9.如权利要求8所述LED晶粒扫瞄与点测的运作方法，其特征在于，该LED晶粒载具搬运至该扫描装置后，先判断LED晶粒载具的识别标记坐标，若确认无误，才会开始进行晶粒坐标的扫描。

10.如权利要求9所述LED晶粒扫瞄与点测的运作方法，其特征在于，该LED晶粒载具搬运至该LED晶粒点测装置后，会先判断LED晶粒载具的识别标记坐标，若确认无误，才会开始进行点测该LED晶粒载具上的晶粒。

11.一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，其特征在于，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括：

一进料区，用以提供摆放具有多个LED晶粒载具；

一出料区，用以提供摆放具有多个完测LED晶粒载具；

至少一个扫描装置，以使该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存；

一组拾取臂，用以搬移LED晶粒载具于进料区、出料区及扫描装置之间；以及

一个以上的LED晶粒点测装置，该LED晶粒载具经过该扫描装置坐标扫描后、于搬运至出料区之前，由该拾取臂将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。

12.如权利要求11所述LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，其特征在于，该LED晶粒载具上具有三个识别标记，由该扫描装置对该LED晶粒载具的识别标记进行坐标扫描与储存，作为点测前对位之用。