[发明专利]旋转涂布制程的成膜装置

权利要求书

1.一种旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于，包含：

一旋转装置，具有至少一旋转平台，一基材置放于旋转平台上，涂料披覆于该基材的表面；

一加热装置，设置于该旋转平台上方。

2.如权利要求1所述旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于，该加热装置包含有：

至少一加热体结构，该加热体结构对基材的边缘部份提供热能； 

一侦测单元，该侦测单元侦测基材的温度。

3.如权利要求2所述旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于：该加热体结构还包含有一红外线热源。

4.如权利要求2所述旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于：该加热体结构还包含有一热风输送口。

5.如权利要求2所述旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于：该侦测单元为一热像仪。